[發明專利]一種鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置及鍍膜設備

在審

• 申請號: 202210092718.2
• 申請日: 2022-01-26
• 公開（公告）號: CN114394433A
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 朱京濤;朱杰;朱東風;張秀霞;馬軍
• 申請（專利權）人: 蘇州江泓電子科技有限公司
• 主分類號: B65G54/02
• 分類號: B65G54/02;B65G41/00;C23C14/22;C23C14/50
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 趙麗恒

本發明提供一種鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置，涉及薄膜光學加工技術領域，包括：磁力導軌和磁力導滑塊，磁力導軌和磁力導滑塊組成一個磁懸浮導軌運動副，磁力導軌用于固定設置于鍍膜腔體頂部，磁力導滑塊用于固定設置于樣品架車頂部，磁力導滑塊在磁力的作用下能夠沿著磁力導軌移動；本發明還提供了一種鍍膜設備，包括鍍膜腔體、樣品架車、底導軌和如上所述的鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置，樣品架車和底導軌均設置于鍍膜腔體內，樣品架車能夠沿著底導軌移動，磁力導軌固定設置于鍍膜腔體頂部，磁力導滑塊固定設置于樣品架車頂部；本發明提供的方案能夠提高鍍膜效果。

技術領域

本發明涉及薄膜光學加工技術領域，特別是涉及一種鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置及鍍膜設備。

背景技術

傳統的鍍膜設備中，樣品基板架的固定方式大多采用兩種方式：第一是樣品架車下方和平板垂直緊固，上方不固定。樣品架車在移動過程中上方無任何阻力，其優點是樣品架車在步進電機或伺服電機牽引移動過程中只受鏈條牽引之外再無其他阻力，在低速狀態下運行平穩順暢。缺點是當樣品架車較大較高時，鍍膜期間如果高速運動，由于樣品架車本身重心遠離基板，位置較高，勢必會因為動態不穩定因素而產生晃動，從而使其表面安裝的樣品產生前后位移，最終在鍍膜過程中的沉積厚度出現偏差。第二種方式是樣品架車與底座基板垂直固定，上端通過滾輪將樣品架車上部抵住，使樣品架車在通過時由于滾輪的對頂而保持穩定。優點是不管高速低速，樣品架車本身將會在外部的控制之下保持平衡和穩定，因此基板距離靶槍的距離也會隨之保持相對恒定的數值，從而大大提高成膜質量，特別是厚度均勻性會顯著提高。同樣這種固定方式的缺點也是相對比較明顯的，滑輪本身帶有滾軸，長時間運行后滾動的滑順性會顯著下降，此時對樣品架車的摩擦阻力將會大大提高，滾輪的存在雖然保證了和靶槍之間的距離差，但在運動軸的方向由于滾輪的摩擦阻力會出現前后交錯進動的情況，從而影響鍍膜的均勻性，因此，亟需一種新型的方案來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置及鍍膜設備，以解決上述現有技術存在的問題，提高鍍膜效果。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

本發明提供一種鍍膜設備用磁懸浮樣品架車導向裝置，包括：磁力導軌和磁力導滑塊，所述磁力導軌和所述磁力導滑塊組成一個磁懸浮導軌運動副，所述磁力導軌用于固定設置于鍍膜腔體頂部，所述磁力導滑塊用于固定設置于所述樣品架車頂部，所述磁力導滑塊在磁力的作用下能夠沿著所述磁力導軌移動。

優選的，還包括多個側滾輪，所述樣品架車或所述磁力導滑塊的兩側分別設置有多個所述側滾輪，且所述側滾輪的軸線豎直設置；

正常工作狀態下，多個所述側滾輪與所述樣品架車或所述磁力導滑塊間隙配合。

優選的，各所述側滾輪均配備有一個滾輪支架，所述滾輪支架固定設置于所述磁力導軌的側面，所述側滾輪固定設置于所述滾輪支架上，且多個所述側滾輪均勻布設。

優選的，所述磁力導軌包括多個依次排列的第一磁鐵，所述磁力導滑塊包括多個依次排列的第二磁鐵，任意相鄰的兩個所述第一磁鐵朝向所述磁力導滑塊的一側的極性均相反，任意相鄰的兩個所述第二磁鐵朝向所述磁力導軌的一側的極性均相反。

優選的，所述第一磁鐵和所述第二磁鐵均由內置稀土強磁體或磁性金屬的鋁合金材質的磁體盒組成。

優選的，還包括磁力導軌支撐板和磁力導滑塊支撐板，多個所述第一磁鐵依次固定于所述磁力導軌支撐板的底部，多個所述第二磁鐵依次固定于所述磁力導滑塊支撐板的頂部，所述磁力導軌支撐板的頂部可拆卸設置于所述鍍膜腔體頂部，所述磁力導滑塊支撐板的底部可拆卸設置于所述樣品架車頂部。