[發明專利]一種車規級IGBT模塊二次焊接治具組裝裝置在審
| 申請號: | 202210087734.2 | 申請日: | 2022-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN114496829A | 公開(公告)日: | 2022-05-13 |
| 發明(設計)人: | 于彬;李昂;唐光明;霍永飛 | 申請(專利權)人: | 常州科瑞爾科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/48 |
| 代理公司: | 南通毅帆知識產權代理事務所(普通合伙) 32386 | 代理人: | 彭科 |
| 地址: | 213000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 車規級 igbt 模塊 二次 焊接 組裝 裝置 | ||
本發明公開了一種車規級IGBT模塊二次焊接治具組裝裝置,屬于功率半導體制造技術領域包括傳送帶0,熱板/銅底板取放機構1、DBC定位治具放置機構2、錫片組裝機構3、DBC貼裝機構5,錫片上料機構8;還包括DBC不良品傳送軌道4、錫片不良品收集盒7和DBC定位治具不良品傳送軌道11;各個組件組裝全自動化,可完全替代人工作業,效率大大超過人工作業效率。全程不需人工干預,徹底杜絕了人手接觸產品,導致產品污染,進而影響產品品質等問題的發生。各組件的放置由視覺相機引導,可保證各組件的精確放置;下相機可檢測各組件的不良品,防止不良品流入本道工序,從而保證最終成品的質量。
技術領域
本發明屬于功率半導體制造技術領域,特別是涉及一種車規級IGBT模塊二次焊接治具組裝裝置。
背景技術
IGBT,即功率半導體器件,在國防工業以及國民經濟的各方面都有著廣泛的應用。
IGBT模塊在電動汽車中發揮著至關重要的作用,是電動汽車及充電樁等設備的核心技術部件。封裝是IGBT模塊生產的重要環節,出于新能源汽車實際行程場景的復雜性,和對行駛安全的絕對要求,車規級IGBT在工作溫寬、散熱性、抗震性等方面都有著嚴苛要求。因而,提升封裝可靠性是IGBT封裝的重要工作。
目前汽車上應用最廣泛的模塊是采用針狀翅片散熱底板的封裝形式,這種封裝形式在經過二次焊接時,需要較多的治具來輔助完成焊接過程,過程是將熱板、銅底板、DBC定位治具、焊接錫片、DBC等組合在一起,并放置于專用的治具內,然后才能進入焊接爐進行焊接。目前治具的組裝以人工作業為主,或只有部分治具的放置實現了自動化,人工作業的過程中難以保證各個組件的精確放置,且人手接觸產品,易對產品造成污染,導致產品的失效,難以保證模塊的一致性和可靠性。
發明內容
本發明的目的是提出一種將熱板、 銅底板、DBC定位治具、錫片及DBC組合在一起的全自動組裝裝置,可完全替代以前繁瑣的人工作業,全程不需人工干預,徹底杜絕了人工接觸產品導致產品污染、失效的可能。全部工序設計有視覺檢測、視覺定位引導機構,可實現各組件的精確放置,避免了人工作業組件位置放置不準導致的產品不良、使用壽命下降等質量缺陷。
本發明是通過以下技術方案實現的:
一種車規級IGBT模塊二次焊接治具組裝裝置,包括傳送帶0,熱板/銅底板取放機構1、DBC定位治具放置機構2、錫片組裝機構3、DBC貼裝機構5,錫片上料機構8;
所述熱板/銅底板取放機構1包括第一三軸滑臺101, 熱板/銅底板抓手102,第一電動夾爪1021,第一夾爪手指1022,支架103;
所述第一三軸滑臺101支撐在支架103上,所述熱板/銅底板抓手102設置在所述第一三軸滑臺101上,所述所述熱板/銅底板抓手102包括第一電動夾爪1021和第一夾爪手指1022;
所述DBC定位治具放置機構2包括第二三軸滑臺201,第一下定位相機202,第一上定位相機203,第一旋轉機械手204,第一旋轉伺服電機2041,第一旋轉中空平臺2042,第一上下氣缸2043,第一吸嘴2044,緩沖彈簧2045,支架205;
所述第二三軸滑臺201支撐在支架205上,所述第一旋轉機械手204設置在所述第二三軸滑臺201上, 所述第一旋轉機械手204包括第一旋轉伺服電機2041、第一旋轉中空平臺2042、第一上下氣缸2043、第一吸嘴2044以及緩沖彈簧2045,所述第一旋轉伺服電機2041通過第一旋轉中空平臺2042與第一上下氣缸2043連接,所述第一吸嘴2044與第一上下氣缸2043的活塞連接,所述緩沖彈簧2045設置在所述第一吸嘴2044與第一上下氣缸2043的固定部分上,第一下定位相機202設置在定位治具載盤與傳輸軌道之間,第一上定位相機203設置在第一旋轉機械手204旁邊;
所述錫片組裝機構3包括第三三軸滑臺301,第二上定位相機302,第二旋轉機械手303,第二旋轉伺服電機3031,第二旋轉中空平臺3032,錫片吸盤3033,吸盤體30331,聚醚乙酮墊片30332,負壓氣流通道30333,支架304,第二下定位相機305;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





