[發明專利]可調平加壓裝置及其貼片設備

在審

• 申請號: 202210082320.0
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN114613714A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 戚國強;鄒貴生;楊友志;劉磊;劉元;王文淦;許建磊;王帥奇;潘兵;吳永超;黃辰瀟;杜榮葆
• 申請（專利權）人: 快克智能裝備股份有限公司;清華大學
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 李楠

1.一種可調平加壓裝置，其特征在于：包括：

導軌(10)，安裝在機架(11)上；

第一加壓組件(1)，具有第一工作面(1-1)；

第二加壓組件(2)，具有與第一工作面(1-1)相對設置的第二工作面(2-1)，所述第一加壓組件(1)安裝在機架(11)或/和導軌(10)上；

第一滑塊(12)，與導軌(10)相匹配，并滑動安裝在導軌(10)上；

驅動單元，用于帶動第一加壓組件(1)相對第二加壓組件(2)靠攏或遠離；

以及第一調平組件(3)，用于將第一加壓組件(1)連接在第一滑塊(12)上，并具有浮動連接狀態和固定連接狀態；

所述第一調平組件(3)處于浮動連接狀態及第一加壓組件(1)向第二加壓組件(2)靠攏時，第一加壓組件(1)通過第一調平組件(3)帶動第一滑塊(12)移動，且第一調平組件(3)允許第一加壓組件(1)隨第一工作面(1-1)與第二工作面(2-1)的接觸而自適應的調整位置，實現第一工作面(1-1)與第二工作面(2-1)的貼合；

所述第一調平組件(3)處于固定連接狀態時，第一加壓組件(1)位置被固定在第一滑塊(12)上。

2.根據權利要求1所述的可調平加壓裝置，其特征在于：所述第一調平組件(3)包括第一連接件(3-1)和第一緊固件(3-2)；

所述第一連接件(3-1)和第一加壓組件(1)固定連接，并開設有第一安裝孔(3-11)；

所述第一緊固件(3-2)穿過第一安裝孔(3-11)，并用于將第一連接件(3-1)可拆卸的固定在第一滑塊(12)上；第一緊固件(3-2)位于第一安裝孔(3-11)內的部位的外周壁與第一安裝孔(3-11)的內周壁之間留有第一間隙(3-3)。

3.根據權利要求2所述的可調平加壓裝置，其特征在于：所述第一加壓組件(1)的兩側均配置有第一調平組件(3)，所述機架(11)上位于第一加壓組件(1)的兩側均具有導軌(10)，所述導軌(10)上均滑動安裝有所述第一滑塊(12)，所述第一調平組件(3)和其所在側的第一滑塊(12)連接。

4.根據權利要求1所述的可調平加壓裝置，其特征在于：所述第二加壓組件(2)遠離第二工作面(2-1)的一端具有安裝面(2-2)，所述安裝面(2-2)與機架(11)之間設置有壓力傳感器(9)，壓力傳感器(9)固定安裝在機架(11)上，導軌(10)上滑動安裝有與其相匹配的第二滑塊(8)；

還包括第二調平組件(7)，用于將第二加壓組件(2)連接在第二滑塊(8)上，并具有浮動連接狀態和固定連接狀態；

所述第二調平組件(7)處于浮動連接狀態及第二加壓組件(2)向壓力傳感器(9)靠攏時，第二加壓組件(2)通過第二調平組件(7)帶動第二滑塊(8)移動，且第二調平組件(7)允許第二加壓組件(2)隨安裝面(2-2)與壓力傳感器(9)的受力面(9-1)的接觸而自適應的調整位置，實現安裝面(2-2)與受力面(9-1)的貼合；

所述第二調平組件(7)處于固定連接狀態時，第二加壓組件(2)位置被固定在第二滑塊(8)上。

5.根據權利要求4所述的可調平加壓裝置，其特征在于：所述第二調平組件(7)包括第二連接件(7-1)和第一緊固件(3-2)；

所述第二連接件(7-1)和第二加壓組件(2)固定連接，并開設有第二安裝孔(7-11)；

所述第二緊固件(7-2)穿過第二安裝孔(7-11)，并用于將第二連接件(7-1)可拆卸的固定在第二滑塊(8)上；第二緊固件(7-2)位于第二安裝孔(7-11)內的部位的外周壁與第二安裝孔(7-11)的內周壁之間留有第二間隙(7-3)。

6.根據權利要求4所述的可調平加壓裝置，其特征在于：所述第二加壓組件(2)的兩側均配置有第二調平組件(7)，所述機架(11)上位于第二加壓組件(2)的兩側均具有導軌(10)，所述導軌(10)上均滑動安裝有所述第二滑塊(8)，所述第二調平組件(7)和其所在側的第二滑塊(8)連接。