[發(fā)明專利]測(cè)量方法及系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210074803.6
• 申請(qǐng)日: 2022-01-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116524171A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;王紫媛;呂肅;黃有為;張嵩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G06V10/24
• 分類號(hào): G06V10/24;G06V10/25;G06V10/74
• 代理公司: 上海知錦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡

一種測(cè)量方法及系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，方法包括：獲取待測(cè)標(biāo)記的檢測(cè)圖像和模板圖像，模板圖像中具有檢測(cè)范圍，模板圖像包括第一感興趣區(qū)域相對(duì)于檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系；利用模板圖像對(duì)檢測(cè)圖像進(jìn)行感興趣區(qū)域定位處理，感興趣區(qū)域定位處理包括：將檢測(cè)圖像與檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像進(jìn)行匹配處理，在檢測(cè)圖像中獲取與檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像具有最大相似度的區(qū)域作為匹配區(qū)域，匹配區(qū)域的檢測(cè)圖像作為匹配圖像；根據(jù)模板圖像中第一感興趣區(qū)域相對(duì)于檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系，在檢測(cè)圖像中確定第二感興趣區(qū)域，第二感興趣區(qū)域內(nèi)的檢測(cè)圖像作為感興趣圖像。本發(fā)明有利于提高對(duì)待測(cè)標(biāo)記的定位精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種測(cè)量方法及系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，為了對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，需要先定位待測(cè)目標(biāo)的位置，以確定感興趣區(qū)域(ROI)，并利用感興趣區(qū)域的圖像獲取待測(cè)參數(shù)。

特別是在對(duì)準(zhǔn)誤差的檢測(cè)過(guò)程中，為了保證不同膜層或不同工藝形成的圖案之間能夠精確對(duì)準(zhǔn)，需要檢測(cè)套刻標(biāo)記(overlay?mark)的對(duì)準(zhǔn)誤差。然而隨著半導(dǎo)體器件的縮小，對(duì)套刻標(biāo)記的定位精度也提出了更高的要求。

目前對(duì)待測(cè)目標(biāo)的機(jī)械定位的精度較低，難以滿足實(shí)際需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例解決的問(wèn)題是提供一種測(cè)量方法及系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，有利于提高對(duì)待測(cè)標(biāo)記的定位精度。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種測(cè)量方法，用于對(duì)待測(cè)標(biāo)記進(jìn)行測(cè)量，所述待測(cè)標(biāo)記具有感興趣區(qū)域，所述測(cè)量方法包括：獲取所述待測(cè)標(biāo)記的檢測(cè)圖像和模板圖像，所述模板圖像中具有檢測(cè)范圍，且所述模板圖像包括第一感興趣區(qū)域相對(duì)于所述檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系，所述第一感興趣區(qū)域?yàn)樗龃郎y(cè)標(biāo)記的感興趣區(qū)域在所述模板圖像中的區(qū)域；利用所述模板圖像對(duì)所述檢測(cè)圖像進(jìn)行感興趣區(qū)域定位處理，所述感興趣區(qū)域定位處理包括：將所述檢測(cè)圖像與所述檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像進(jìn)行匹配處理，在所述檢測(cè)圖像中，獲取與所述檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像具有最大相似度的區(qū)域作為匹配區(qū)域，所述匹配區(qū)域的檢測(cè)圖像作為匹配圖像；根據(jù)所述模板圖像中第一感興趣區(qū)域相對(duì)于所述檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系，在所述檢測(cè)圖像中確定第二感興趣區(qū)域，所述第二感興趣區(qū)域?yàn)樗龃郎y(cè)標(biāo)記的感興趣區(qū)域在所述檢測(cè)圖像中的區(qū)域，所述第二感興趣區(qū)域內(nèi)的檢測(cè)圖像作為感興趣圖像，所述感興趣圖像與所述匹配圖像的相對(duì)位置關(guān)系與所述預(yù)設(shè)位置關(guān)系相同。

相應(yīng)的，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種測(cè)量系統(tǒng)，用于對(duì)待測(cè)標(biāo)記進(jìn)行測(cè)量，所述待測(cè)標(biāo)記具有感興趣區(qū)域，所述測(cè)量系統(tǒng)包括：圖像獲取模塊，用于獲取所述待測(cè)標(biāo)記的檢測(cè)圖像和模板圖像，所述模板圖像中具有檢測(cè)范圍，且所述模板圖像包括第一感興趣區(qū)域相對(duì)于所述檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系，所述第一感興趣區(qū)域?yàn)樗龃郎y(cè)標(biāo)記的感興趣區(qū)域在所述模板圖像中的區(qū)域；定位模塊，用于利用所述模板圖像對(duì)所述檢測(cè)圖像進(jìn)行感興趣區(qū)域定位處理，所述定位模塊包括：匹配單元，用于將所述檢測(cè)圖像與所述檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像進(jìn)行匹配處理，在所述檢測(cè)圖像中，獲取與所述檢測(cè)范圍內(nèi)的模板圖像具有最大相似度的區(qū)域作為匹配區(qū)域，所述匹配區(qū)域的檢測(cè)圖像作為匹配圖像；感興趣區(qū)域確定單元，用于根據(jù)所述模板圖像中第一感興趣區(qū)域相對(duì)于所述檢測(cè)范圍的預(yù)設(shè)位置關(guān)系，在所述檢測(cè)圖像中確定第二感興趣區(qū)域，所述第二感興趣區(qū)域?yàn)樗龃郎y(cè)標(biāo)記的感興趣區(qū)域在所述檢測(cè)圖像中的區(qū)域，所述第二感興趣區(qū)域內(nèi)的檢測(cè)圖像作為感興趣圖像，所述感興趣圖像與所述匹配圖像的相對(duì)位置關(guān)系與所述預(yù)設(shè)位置關(guān)系相同。

相應(yīng)地，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種設(shè)備，包括至少一個(gè)存儲(chǔ)器和至少一個(gè)處理器，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有一條或多條計(jì)算機(jī)指令，其中，所述一條或多條計(jì)算機(jī)指令被所述處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例所述的測(cè)量方法。

相應(yīng)地，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種存儲(chǔ)介質(zhì)，所述存儲(chǔ)介質(zhì)存儲(chǔ)有一條或多條計(jì)算機(jī)指令，所述一條或多條計(jì)算機(jī)指令用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例所述的測(cè)量方法。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：