[發明專利]測量方法及系統、設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202210074803.6
• 申請日: 2022-01-21
• 公開（公告）號: CN116524171A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 陳魯;王紫媛;呂肅;黃有為;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G06V10/24
• 分類號: G06V10/24;G06V10/25;G06V10/74
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡

1.一種測量方法，其特征在于，用于對待測標記進行測量，所述待測標記具有感興趣區域，所述測量方法包括：

獲取所述待測標記的檢測圖像和模板圖像，所述模板圖像中具有檢測范圍，且所述模板圖像包括第一感興趣區域相對于所述檢測范圍的預設位置關系，所述第一感興趣區域為所述待測標記的感興趣區域在所述模板圖像中的區域；

利用所述模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理，所述感興趣區域定位處理包括：

將所述檢測圖像與所述檢測范圍內的模板圖像進行匹配處理，在所述檢測圖像中，獲取與所述檢測范圍內的模板圖像具有最大相似度的區域作為匹配區域，所述匹配區域的檢測圖像作為匹配圖像；

根據所述模板圖像中第一感興趣區域相對于所述檢測范圍的預設位置關系，在所述檢測圖像中確定第二感興趣區域，所述第二感興趣區域為所述待測標記的感興趣區域在所述檢測圖像中的區域，所述第二感興趣區域內的檢測圖像作為感興趣圖像，所述感興趣圖像與所述匹配圖像的相對位置關系與所述預設位置關系相同。

2.如權利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述模板圖像的整個區域作為檢測范圍；利用所述模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理的過程中，利用整個區域的所述模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理；

或者，所述檢測范圍包括多個子檢測范圍，每個所述子檢測范圍位于所述模板圖像的局部區域中，且任一所述子檢測范圍涵蓋部分待測標記的圖像；利用所述模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理的過程中，分別利用各個所述子檢測范圍內的模板圖像，對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理。

3.如權利要求2所述的測量方法，其特征在于，分別利用各個所述子檢測范圍內的模板圖像，對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理包括：

在所述模板圖像中，對當前無需匹配的所述子檢測范圍進行遮擋；將所述檢測圖像與未被遮擋的所述子檢測范圍內的第一模板圖像進行匹配處理；

或者，在所述模板圖像中，截取出當前待匹配的所述子檢測范圍；將所述檢測圖像與截取出的所述子檢測范圍內的第一模板圖像進行匹配處理。

4.如權利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述待測標記包括第一標記和第二標記，且所述第一標記和第二標記分別具有各自對應的感興趣區域；所述匹配區域的個數為多個；

所述檢測范圍包括第一子檢測范圍和第二子檢測范圍，所述第一子檢測范圍內具有所述第一標記的圖像，所述第二子檢測范圍內具有所述第二標記的圖像，且所述第一子檢測范圍和第二子檢測范圍分別涵蓋所述第一標記對應的第一感興趣區域、以及所述第二標記對應的第一感興趣區域；

利用所述模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理的過程中，分別利用所述第一子檢測范圍內的模板圖像和所述第二子檢測范圍內的模板圖像，對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理，其中，

利用所述第一子檢測范圍內的模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理包括：將所述檢測圖像與所述第一子檢測范圍內的模板圖像進行匹配處理，在所述檢測圖像中獲取與所述第一子檢測范圍內的模板圖像具有最大相似度的區域，作為與所述第一子檢測范圍相對應的匹配區域；

利用所述第二子檢測范圍內的模板圖像對所述檢測圖像進行感興趣區域定位處理包括：將所述檢測圖像與所述第二子檢測范圍內的模板圖像進行匹配處理，在所述檢測圖像中獲取與所述第二子檢測范圍內的模板圖像具有最大相似度的區域，作為與所述第二子檢測范圍相對應的匹配區域。

5.如權利要求4所述的測量方法，其特征在于，所述第一標記和第二標記由不同工藝形成，或者，所述第一標記和第二標記位于不同層，所述第一標記在所述第二標記所在層的正投影位于所述第二標記內側；

將所述檢測圖像與所述第二子檢測范圍內的模板圖像進行匹配處理包括：對所述模板圖像的第一子檢測范圍內的圖像信息進行遮擋，未被遮擋的部分作為第一模板圖像；將所述檢測圖像與所述第一模板圖像進行匹配處理；

將所述檢測圖像與所述第一子檢測范圍內的模板圖像進行匹配處理包括：截取出所述模板圖像的第一子檢測范圍，作為第二模板圖像，或者，對所述模板圖像的第二子檢測范圍內的圖像信息進行遮擋，未被遮擋的部分作為第二模板圖像；將所述檢測圖像與所述第二模板圖像進行匹配處理。