[發明專利]反射鏡裝調系統及裝調方法

在審

• 申請號: 202210039592.2
• 申請日: 2022-01-14
• 公開（公告）號: CN114459608A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 尤宏波;闞博涵;曹景華;彭燕鴻;張大為;郝利民
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: G01J5/08
• 分類號: G01J5/08;G01J5/0813;G02B7/198
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 華楓

本發明提出了一種反射鏡裝調系統及裝調方法，裝調系統包括：平板玻璃組件、平面反射鏡組件及測量設備，沿光的傳播方向，平板玻璃組件位于待裝調反射鏡的上游，平面反射鏡組件位于待裝調反射鏡的下游；測量設備用于發射檢測光，檢測光經平板玻璃組件傳遞至待裝調反射鏡，檢測光經待裝調反射鏡的反射光傳遞至平面反射鏡組件，反射光經平面發射鏡組件、待裝調反射鏡反射后，經平板玻璃組件返回至測量設備；根據測量設備接收的反射光得到測量值，通過比較測量值與設計值，對待裝調反射鏡的角度和距離進行調整，至測量值達到設計值。本發明摒棄了接觸式的頂針測量法使用了無接觸式測量，減少了鏡片損傷的風險，且具有高精度裝調特性。

技術領域

本發明涉及紅外成像設備技術領域，尤其涉及一種反射鏡裝調系統及裝調方法。

背景技術

鏡面定位儀是一種光學測量的儀器，它采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀，參考鏡的位置可以精確移動，當干涉儀測量臂程與參考臂程相等時，可以發生干涉。干涉信號經光電二極管轉變為電信號，再由顯示屏顯示。通過監控參考鏡的移動位置，可以測量光學系統組件每一鏡面之間的距離。鏡面定位儀多用于鏡片間的距離檢測，廣泛使用于鏡片檢測、光學鏡頭組件檢測應用。

在紅外熱成像中，反射鏡組件的狀態直接影響光學傳遞函數指標的評價，從而影響光學成像的質量。所以，反射鏡的裝調是光學系統裝調至關重要的一步。在傳統裝調方法中，裝調反射鏡分為兩步，先使用頂針調節反射鏡的距離，再使用自準直儀調節反射鏡的角度。在裝調反射鏡的過程中，因為兩步分開進行且精確度較低，往往需要多次重復兩個步驟，分別調節距離與角度，使距離與角度處于理想數值。且使用頂針測量反射鏡組件的距離會增加損傷鏡片的風險。目前，國內暫無無接觸式且高精度裝調反射鏡裝調方法。

綜上所述，反射鏡的裝調方法對于紅外熱成像儀的后續使用而言就顯得愈發重要。

發明內容

本發明要解決的技術問題是如何提高反射鏡裝調的便利性和準確性的，本發明提出一種反射鏡裝調系統及裝調方法。

根據本發明實施例的反射鏡裝調系統，包括：

平板玻璃組件，沿光的傳播方向，所述平板玻璃組件位于待裝調反射鏡的上游；

平面反射鏡組件，沿光的傳播方向，所述平面反射鏡組件位于所述待裝調反射鏡的下游；

測量設備，用于發射檢測光，所述檢測光經所述平板玻璃組件傳遞至所述待裝調反射鏡，所述檢測光經所述待裝調反射鏡的反射光傳遞至所述平面反射鏡組件，所述反射光經所述平面發射鏡組件、待裝調反射鏡反射后，經所述平板玻璃組件返回至所述測量設備；

根據所述測量設備接收的反射光得到測量值，通過比較測量值與設計值，對所述待裝調反射鏡的角度和距離進行調整，至測量值達到設計值。

根據本發明實施例的反射鏡裝調系統，摒棄了接觸式的頂針測量法使用了無接觸式測量，減少了鏡片損傷的風險。采用了鏡面定位儀進行待裝調反射鏡的裝調，鏡面定位儀具有高精度的特性。進行待裝調反射鏡裝調的機械固定件用相對誤差小的特性，所以在裝調過程中，保證待裝調反射鏡組件結構的高精確度。

根據本發明的一些實施例，所述待裝調反射鏡的框架設有用于調節待裝調反射鏡的距離和角度的調節組件。

在本發明的一些實施例中，所述裝調系統還包括：

固定支架，用于固定所述待裝調反射鏡。

根據本發明的一些實施例，所述平板玻璃組件包括：平板玻璃和固定底座，所述平板玻璃通過所述固定底座固定于所述待裝調反射鏡上游。

在本發明的一些實施例中，平面反射鏡組件包括：平面反射鏡和固定板，所述平面反射鏡通過所述固定板固定于所述待裝調反射鏡下游。

根據本發明的一些實施例，所述平面反射鏡組件還包括：支撐件，用于連接支撐所述固定板。