[發明專利]納米壓印膠的活塞式霧化噴涂結構

有效

• 申請號: 202210033520.7
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114100913B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 羅剛
• 申請（專利權）人: 蘇州新維度微納科技有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05B7/08
• 代理公司: 蘇州三英知識產權代理有限公司 32412
• 代理人: 席勇

本發明公開了一種納米壓印膠的活塞式霧化噴涂結構，包括驅動腔、噴射腔和樣品夾具。所述驅動腔用于容納壓印膠，該驅動腔具有活塞接口部，該活塞接口部操作性地連接有活塞。所述噴射腔與所述驅動腔連通，所述噴射腔的頂壁設有多個初級噴射口。所述樣品夾具設置在所述噴射腔的上方，該樣品夾具的表面用來夾持待噴涂壓印膠的樣品，其中所述表面與所述初級噴射口相對。在所述活塞沿著所述活塞接口部作往復運動時，所述壓印膠能夠從所述噴射腔的初級噴射口中向上噴出，并噴涂至所述樣品上。根據本發明的納米壓印膠的活塞式霧化噴涂結構，通過活塞壓縮氣體的方式，使得壓印膠能夠以微射流的方式從下向上噴射出來，使得噴涂壓印膠的方式多樣化。

技術領域

本發明是關于納米壓印技術，具體是關于納米壓印膠的霧化噴涂結構。

背景技術

納米壓印技術在微納光子學等領域都具有廣泛應用前景，包括AR以及VR等領域、醫療、交通等領域，其市場前景不言而喻。目前納米壓印中，常用涂膠技術主要有旋轉涂膠以及微射流噴涂。旋涂技術主要是將壓印膠涂覆在樣品表面，之后采用高速旋轉，形成樣品表面的薄膜。另一種微液滴噴涂，就是采用微射流技術，將壓印膠霧化，之后噴涂在樣品表面。

旋涂技術的缺點是受樣品邊緣邊界條件的影響，臨近邊界區域膠膜質量差，厚度與中心處厚度不一致。微射流工藝的缺陷在于霧化噴膜很難保證均勻性，其次襯底通常位于微射流噴口的下方，微射流的壓印膠在降落到襯底上時容易形成氣泡，影響產品的壓印精度。

公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在增加對本發明的總體背景的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域一般技術人員所公知的現有技術。

發明內容

本發明的目的在于提供一種納米壓印膠的活塞式霧化噴涂結構，其能夠從下向上噴射納米壓印膠，使得噴涂壓印膠的方式多樣化，適應各種待噴涂樣品以及多種噴涂場景。

為實現上述目的，本發明的實施例提供了一種納米壓印膠的活塞式霧化噴涂結構，包括驅動腔、噴射腔和樣品夾具。所述驅動腔用于容納壓印膠，該驅動腔具有活塞接口部，該活塞接口部操作性地連接有活塞。所述噴射腔與所述驅動腔連通，所述噴射腔的頂壁設有多個初級噴射口。所述樣品夾具設置在所述噴射腔的上方，該樣品夾具的表面用來夾持待噴涂壓印膠的樣品，其中所述表面與所述初級噴射口相對。在所述活塞沿著所述活塞接口部作往復運動時，所述壓印膠能夠從所述噴射腔的初級噴射口中向上噴出，并噴涂至所述樣品上。

在一個或多個實施方式中，工作狀態下所述驅動腔內填充有第一壓縮氣體。所述驅動腔和所述噴射腔之間通過連通管進行連通。

在一個或多個實施方式中，所述初級噴射口和所述樣品夾具之間設有噴氣管，該噴氣管具有朝向所述樣品夾具的出口，以用于噴出高速氣流。

在一個或多個實施方式中，所述噴氣管的上方設有橫板，該橫板上設有多個次級噴射口。所述橫板的定向與所述樣品夾具的所述表面平行且相對。

在一個或多個實施方式中，所述樣品夾具上固定有支撐桿，所述支撐桿能夠被驅動進行上下移動和/或轉動，以帶動樣品上下移動和/或轉動。

在一個或多個實施方式中，所述樣品夾具上設有氣孔，通過真空吸氣的方式將所述樣品固定。

在一個或多個實施方式中，所述初級噴射口的尺寸為0.5～1.0毫米，所述次級噴射口的直徑為20～50微米。

在一個或多個實施方式中，所述活塞上設有活塞驅動桿，該活塞驅動桿用于與外部驅動系統相連。