[發明專利]壓力控制閥、用于光刻設備的流體處理結構和光刻設備

在審

• 申請號: 202210021840.0
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN114294460A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: S·M·J·楊森;K·庫依皮爾斯;R·H·M·考蒂;S·斯里瓦斯塔瓦;T·J·A·倫克斯;J·G·高森;E·H·E·C·奧姆梅倫;H·J·舍倫斯;A·M·W·黑倫;B·藍森
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: F16K31/00
• 分類號: F16K31/00;F16K1/42;F16K41/10;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 胡良均

1.一種壓力控制閥，包括：

通路，所述通路具有限定用于使液體和/或氣體流動通過的開口的部分；

阻塞構件，所述阻塞構件能夠相對于所述開口移位，以將所述開口阻塞不同的量，由此調節通過所述開口的液體和/或氣體的體積流量；

壓電致動器；以及

連桿機構，所述連桿機構適于放大所述壓電致動器的尺寸改變的量，并且使用放大后的尺寸改變來使所述阻塞構件相對于所述開口移位，

其中所述連桿機構包括第一細長可變形構件，所述第一細長可變形構件具有第一端和第二端，所述第一細長可變形構件的所述第一端和所述第二端被連接到所述壓電致動器的相對端，

當所述壓電致動器由于施加到其上的電勢差而膨脹時，所述第一細長可變形構件的中心部分在遠離所述壓電致動器的方向上的移動量大于壓電致動器本身的膨脹量。

2.根據權利要求1所述的壓力控制閥，其中，第一細長可變形構件的長度大于所述壓電致動器的長度。

3.根據權利要求1或2所述的壓力控制閥，其中，所述第一細長可變形構件由兩個相對剛性的部分形成，所述兩個相對剛性的部分在所述第一細長可變形構件的中部處或附近彼此鉸接，或者所述第一細長可變形構件由彎曲的單個撓曲部或彈簧形成。

4.根據權利要求1、2或3所述的壓力控制閥，其中，所述第一細長可變形構件的第一端和第二端分別在第一連接件處和第二連接件處連接到所述壓電致動器的相對端。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的壓力控制閥，其中，所述第一細長可變形構件的中心部分附接到連桿構件，所述連桿構件連接到所述阻塞構件。

6.根據權利要求5所述的壓力控制閥，還包括另外的壓電致動器，所述另外的壓電致動器以與所述壓電致動器相同的方式連接到所述連桿機構。

7.根據權利要求6所述的壓力控制閥，其中，所述連桿機構還包括連接于所述連桿構件的梁，所述梁在多個壓電致動器的第一細長可變形件的所述中心部分與多個另外的壓電致動器的第一細長可變形構件的中心部分之間延伸。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的壓力控制閥，其中，所述連桿機構還包括第二細長可變形構件，所述第二細長可變形構件具有第一端和第二端，所述第二細長可變形構件位于所述壓電致動器的與所述第一細長可變形構件相對的一側上；

其中，所述第二細長可變形構件的所述第一端連接到所述第一連接件，并且所述第二細長可變形構件的所述第二端部連接到所述第二連接件。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的壓力控制閥，還包括限定所述通路的側壁的一部分的柔性部分，所述柔性部分適于通過無摩擦彎曲使得所述連桿機構將運動從所述通路的外部傳遞到通路內部從而移動阻塞構件。

10.一種流體處理結構，被配置為將浸沒流體限制到光刻設備的區域，所述光刻設備包括根據權利要求1-9中任一項所述的壓力控制閥。