[發明專利]一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構

在審

• 申請號: 202210014233.1
• 申請日: 2022-01-06
• 公開（公告）號: CN114373556A
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 李波;雷明準;周海山;沈俊松;尹洲;戚強;卯鑫;徐淑玲;李純元
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G21B1/11
• 分類號: G21B1/11
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 江亞平

1.一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構，其特征在于：包括安裝筒、水冷靶板座、角度調節機構、水平調節機構、垂直調節機構、支撐框架；所述水冷靶板座安裝在所述角度調節機構上，位于整個機構的最前端；所述角度調節機構、垂直調節機構、水平調節機構及安裝筒為逐層嵌套安裝結構，所述角度調節機構安裝在所述垂直調節機構內，所述垂直調節機構安裝在所述水平調節機構內，所述水平調節機構通過所述支撐框架安裝在所述安裝筒內。

2.根據權利要求1所述的一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構，其特征在于：

所述的安裝筒，包括長圓筒、防熱罩；所述長圓筒為不銹鋼圓筒，一端焊接安裝法蘭，內部安裝兩條軌道，另一端為筒口加工臺階圓面；防熱罩前端為錐筒，后端為直圓筒，材料為不銹鋼，直圓筒一端內壁加工臺階圓面，套在長圓筒筒口臺階圓面上，通過螺栓固定。

3.根據權利要求1所述的一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構，其特征在于：所述的水冷靶板座，包括水冷腔、支架、固定板、螺栓、水管一、水管二；水冷腔為中空盒體結構，共有5個安裝面，安裝面之間的夾角為135°；支架中心為中空軸，上下兩層框架與水冷腔焊接；所述固定板為開孔圓板，數量為5個，分別安裝在水冷腔的5個安裝面上；水管一和水管二為金屬軟管，分別焊接在水冷腔的兩側；水管一為進水管，水管二為出水管。

4.根據權利要求1所述的一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構，其特征在于：所述的角度調節機構，包括支架一，軸承座一，軸承一，蝸桿，蝸輪，軸承二，軸一，聯軸器一，軸二，萬向節一，軸三，軸四，空心軸一，軸五，聯軸器二，減速機一，真空電機一；所述蝸桿兩端通過軸承一安裝到軸承座一中，軸承座一安裝在支架一上，蝸輪與軸一同心安裝，軸一兩端安裝軸承二，并安裝到支架一上，蝸輪與蝸桿配合安裝；蝸桿一端通過聯軸器一與軸二連接，軸二與軸三通過萬向節一連接，軸三與軸四通過萬向節一連接，空心軸一兩端分別與軸四和軸五連接，軸五通過聯軸器二與減速機一連接，減速機一與真空電機一配合安裝。

5.根據權利要求1所述的一種用于強磁場與真空環境的多自由度調節機構，其特征在于：所述的垂直調節機構，包括前支架，中心筒，支板一，滾輪一，耳板一，曲臂一，銷一，絲桿一，空心軸二，絲桿二，滾珠套一，滾珠套二，連接器一，聯軸器三，減速機二，真空電機二，安裝板一；所述前支架為框架結構，前部為開孔平板，用于安裝水冷靶板座，與中心筒焊接；中心筒為不銹鋼圓筒，支板一有兩組，分別焊接安裝在中心筒前端和后端，每塊支板一開四個安裝孔，用于安裝滾輪一；所述滾輪一安裝在支板一上；所述耳板一焊接在中心筒下部的前端和后端的支板一上，用于安裝曲臂一；所述絲桿一、絲桿二通過空心軸二連接，絲桿一與絲桿二的螺紋方向相反；兩組曲臂一分別通過銷一連接中心筒前端的耳板一和連接器一及中心筒后端的耳板一和連接器二；所述絲桿二末端通過聯軸器三與減速機二的轉軸連接，減速機二與真空電機二同軸配合安裝；所述中心筒末端開口處焊接安裝板一，用于安裝減速機一。