[發明專利]彈性波裝置

在審

• 申請號: 202180084800.4
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN116636140A
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 大內峰文
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H3/08
• 分類號: H03H3/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

本發明提供一種能夠推進小型化的彈性波裝置。彈性波裝置(10)具備：支承構件(13)；壓電層(14)，具有位于支承構件(13)側的第1主面(14a)和第2主面(14b)；第1IDT電極(11A)，設置在第1主面(14a)，具有多個第1電極指(26)、第2電極指(27)；以及第2IDT電極(11B)，設置在第2主面(14b)中的在俯視下與第1IDT電極(11A)不重疊的部分，具有多個第1電極指(28)、第2電極指(29)。將壓電層(14)的厚度設為d，將相鄰的電極指彼此的中心間距離設為p，在該情況下，在第1IDT電極(11A)、第2IDT電極(11B)中，d/p為0.5以下。還具備：絕緣膜(17)，設置在第2主面(14b)中的在俯視下與第1IDT電極(11A)重疊的部分；以及布線電極(18)，在俯視時與第1IDT電極(11A)重疊的部分中在絕緣膜(17)上穿過，并與第2IDT電極(11B)連接。

技術領域

本發明涉及彈性波裝置。

背景技術

以往，彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。近年來，提出了像在下述的專利文獻1記載的那樣的使用了厚度剪切模式的體波的彈性波裝置。在該彈性波裝置中，在壓電層上設置有成對的電極。成對的電極在壓電層上彼此對置，并且連接于不同的電位。通過在上述電極間施加交流電壓，從而激勵厚度剪切模式的體波。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：美國專利第10491192號說明書

發明內容

發明要解決的問題

然而，在利用厚度剪切模式的體波的彈性波諧振器中，電極的間距容易變大，難以推進小型化。

本發明的目的在于，提供一種能夠推進小型化的彈性波裝置。

用于解決問題的技術方案

本發明涉及的彈性波裝置具備：支承構件，具有支承基板；壓電層，設置在所述支承構件上，具有位于所述支承構件側的第1主面和與所述第1主面對置的第2主面；第1IDT電極，設置在所述第1主面，具有多個電極指；以及第2IDT電極，設置在所述第2主面中的在俯視下與所述第1IDT電極不重疊的部分，具有多個電極指，將所述壓電層的厚度設為d，將相鄰的所述電極指彼此的中心間距離設為p，在該情況下，在所述第1IDT電極以及所述第2IDT電極中，d/p為0.5以下，所述彈性波裝置還具備：絕緣膜，設置在所述第2主面中的在俯視下與所述第1IDT電極重疊的部分；以及布線電極，在俯視時與所述第1IDT電極重疊的部分中在所述絕緣膜上穿過，并與所述第2IDT電極連接。

發明效果

根據本發明涉及的彈性波裝置，能夠推進小型化。

附圖說明

圖1是本發明的第1實施方式涉及的彈性波裝置的示意性主視剖視圖。

圖2是本發明的第1實施方式涉及的彈性波裝置的示意性俯視圖。

圖3是圖2中的沿著II-II線的示意性剖視圖。

圖4是第1參考例的彈性波裝置的示意性俯視圖。

圖5是第2參考例的彈性波裝置的示意性俯視圖。

圖6是示出在涉及絕緣膜的參數和諧振特性的關系的仿真中使用的第1模型的圖。

圖7是示出在涉及絕緣膜的參數和諧振特性的關系的仿真中使用的第2模型的圖。