[發明專利]彈性波裝置

在審

• 申請號: 202180084800.4
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN116636140A
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 大內峰文
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H3/08
• 分類號: H03H3/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

1.一種彈性波裝置，具備：

支承構件，具有支承基板；

壓電層，設置在所述支承構件上，具有位于所述支承構件側的第1主面和與所述第1主面對置的第2主面；

第1IDT電極，設置在所述第1主面，具有多個電極指；以及

第2IDT電極，設置在所述第2主面中的在俯視下與所述第1IDT電極不重疊的部分，具有多個電極指，

將所述壓電層的厚度設為d，將相鄰的所述電極指彼此的中心間距離設為p，在該情況下，在所述第1IDT電極以及所述第2IDT電極中，d/p為0.5以下，

所述彈性波裝置還具備：

絕緣膜，設置在所述第2主面中的在俯視下與所述第1IDT電極重疊的部分；以及

布線電極，在俯視時與所述第1IDT電極重疊的部分中在所述絕緣膜上穿過，并與所述第2IDT電極連接。

2.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，

在所述支承構件設置有空洞部，在所述空洞部內配置有所述第1IDT電極，

在所述壓電層設置有到達所述空洞部的貫通孔，

所述彈性波裝置還具備：連接電極，穿過所述貫通孔并與所述第1IDT電極連接。

3.根據權利要求2所述的彈性波裝置，其中，

所述支承構件具有設置在所述支承基板與所述壓電層之間的中間層，

在所述中間層設置有所述空洞部的至少一部分。

4.根據權利要求3所述的彈性波裝置，其中，

所述空洞部是第1空洞部，

在所述中間層中的在俯視下與所述第2IDT電極重疊的部分，設置有第2空洞部的至少一部分。

5.根據權利要求1～4中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

所述絕緣膜的楊氏模量為10GPa以下。

6.根據權利要求1～5中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

所述絕緣膜的相對介電常數不足5。

7.根據權利要求1～6中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

所述絕緣膜為樹脂膜。

8.根據權利要求1～7中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

所述絕緣膜的厚度為2μm以上。

9.根據權利要求1～8中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

在所述第1IDT電極以及所述第2IDT電極中的至少一者中，d/p為0.24以下。

10.根據權利要求1～9中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

在所述第1IDT電極以及所述第2IDT電極各自中，相鄰的所述電極指在對置的方向上觀察時重疊的區域為激勵區域，在所述第1IDT電極以及所述第2IDT電極中的至少一者中，將所述多個電極指相對于所述激勵區域的金屬化比設為MR，此時，滿足MR≤1.75(d/p)+0.075。

11.根據權利要求1～10中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

所述壓電層是鉭酸鋰層或者鈮酸鋰層。

12.根據權利要求11所述的彈性波裝置，其中，

構成所述壓電層的鈮酸鋰或者鈮酸鋰的歐拉角處于以下的式(1)、式(2)或者式(3)的范圍，

(0°±10°，0°～20°，任意的ψ)?????????????????…式(1)

(0°±10°，20°～80°，0°～60°(1一(θ一50)²/900)^1/2)或者(0°±10°，20°～80°，[180°-60°(1-(θ-50)²/900)^1/2]～180°)???…式(2)

(0°±10°，[180°-30°(1-(ψ-90)²/8100)^1/2]～180°，任意的ψ)????????????…式(3)。