[發(fā)明專(zhuān)利]聚合性化合物、活性能量射線(xiàn)固化性樹(shù)脂組合物、固化物、抗蝕劑用組合物和抗蝕膜

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180084130.6
• 申請(qǐng)日: 2021-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116670184A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 今田知之;長(zhǎng)江教夫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: DIC株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C08F12/34
• 分類(lèi)號(hào): C08F12/34
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李恩華

提供：對(duì)微細(xì)空間的浸潤(rùn)性?xún)?yōu)異、且光學(xué)特性、耐蝕刻性、固化性、溶劑溶解性等也優(yōu)異，從而可以用于經(jīng)超微細(xì)化的布線(xiàn)圖案形成的聚合性化合物。具體而言為下述通式(1)所示的聚合性化合物。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聚合性化合物、活性能量射線(xiàn)固化性樹(shù)脂組合物、固化物、抗蝕劑用組合物和抗蝕膜。

背景技術(shù)

近年來(lái)，隨著LSI的高集成化和高速度化，要求其圖案加工越來(lái)越微細(xì)化，在使用了ArF準(zhǔn)分子激光(193nm)的光刻法中，通過(guò)工藝材料的光學(xué)特性的利用、工藝設(shè)備的改良而超越了源自光源波長(zhǎng)的本質(zhì)的分辨率限度。

光致抗蝕劑的領(lǐng)域中，開(kāi)發(fā)出了多種用于形成更微細(xì)的布線(xiàn)圖案的方法，其中之一有多層抗蝕法。多層抗蝕法中，在基板上形成1層或多層的被稱(chēng)為抗蝕劑下層膜、防反射膜等的層后，在其上形成基于通常的光刻法的抗蝕圖案，然后，通過(guò)干式蝕刻將布線(xiàn)圖案加工轉(zhuǎn)印至基板。多層抗蝕法的技術(shù)中重要的構(gòu)件之一為前述抗蝕劑下層膜，對(duì)于該下層膜要求干式耐蝕刻性高、光反射性低等。另外，抗蝕劑下層膜以溶劑稀釋的狀態(tài)被制膜，因此，抗蝕劑下層膜用的樹(shù)脂材料需要可溶于通用有機(jī)溶劑。

另外，近年來(lái)的經(jīng)超微細(xì)化的布線(xiàn)圖案形成大多使用重復(fù)被稱(chēng)為雙重圖案化、多重圖案化的多次曝光和蝕刻的工序，對(duì)于該下層膜，在將前工序中制作的微細(xì)的圖案填孔了的基礎(chǔ)上，還承擔(dān)形成平滑的下一工序制作面的重要的作用。因此，基底材料中使用的抗蝕劑下層膜材料還要求對(duì)微細(xì)空間的高的浸潤(rùn)性。

另外，作為以往的抗蝕劑下層膜用的含酚羥基的化合物，已知有含蒽骨架的化合物(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2010-285403號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

前述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的含蒽骨架的化合物在固化涂膜中的光反射率低，作為防反射膜的特性?xún)?yōu)異，但由于分子尺寸和寬的芳香族電子云所產(chǎn)生的π-π相互作用而對(duì)微細(xì)空間的浸潤(rùn)性低。

本發(fā)明的課題在于，提供：對(duì)微細(xì)空間的浸潤(rùn)性?xún)?yōu)異、且光學(xué)特性、耐蝕刻性、固化性、溶劑溶解性等也優(yōu)異從而可以用于經(jīng)超微細(xì)化的布線(xiàn)圖案形成的聚合性化合物。

另外，本發(fā)明的課題在于，提供：可以用于經(jīng)超微細(xì)化的布線(xiàn)圖案形成的活性能量射線(xiàn)固化性樹(shù)脂組合物。

另外，本發(fā)明的課題在于，提供：可以形成經(jīng)超微細(xì)化的布線(xiàn)圖案的抗蝕劑用組合物。

用于解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明為下述通式(1)所示的聚合性化合物。

[上述通式(1)中，X表示具有芳香環(huán)結(jié)構(gòu)和聚合性不飽和基團(tuán)的結(jié)構(gòu)部位。另外，上述通式(1)中的3個(gè)X任選分別為相同結(jié)構(gòu)或不同結(jié)構(gòu)。]

另外，本發(fā)明為一種聚合性化合物，其將三羥基苯與環(huán)氧鹵丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物(A)和含聚合性不飽和基團(tuán)的芳香族化合物(B)作為反應(yīng)原料。

另外，本發(fā)明為一種聚合性化合物，其將三羥基苯與環(huán)氧鹵丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物(A)、含聚合性不飽和基團(tuán)的非芳香族化合物(C)、和連接前述反應(yīng)產(chǎn)物(A)與前述含聚合性不飽和基團(tuán)的非芳香族化合物(C)的芳香族化合物(D)作為反應(yīng)原料。

另外，本發(fā)明為一種活性能量射線(xiàn)固化性樹(shù)脂組合物，其含有：前述聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、和有機(jī)溶劑。

另外，本發(fā)明為一種抗蝕劑用組合物，其含有前述聚合性化合物。

發(fā)明的效果