[發明專利]電子設備的制造方法及玻璃板組

在審

• 申請號: 202180071237.7
• 申請日: 2021-10-26
• 公開（公告）號: CN116529217A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 澤里擴志
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/091
• 分類號: C03C3/091
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

電子設備的制造方法具備以下工序：準備工序(S1)，準備包含多個玻璃板(Gs)的玻璃板組(Gg)；設備形成工序(S2)，將電子設備(D)形成于玻璃板(Gs)；以及剝離工序(S3)，將玻璃板(Gs)從電子設備(D)的樹脂層(6)剝離。多個玻璃板(Gs)中的波長308～355nm的透射率的標準偏差為3.0以下。

技術領域

本發明涉及制造有機EL顯示器等電子設備的方法及在該制造方法中使用的玻璃板組。

背景技術

用于撓性顯示器等的有機EL設備通過將聚酰亞胺等樹脂層作為基板，并在其上形成TFT層、有機EL層等而制造。樹脂層通過在玻璃板(也稱為載體玻璃)上涂布清漆狀組合物，并以樹脂成分的熱分解溫度以下實施一定時間的熱處理而形成(例如參照專利文獻1)。

如果有機EL設備形成于樹脂層上，則實施將有機EL設備(樹脂層)與玻璃板剝離的剝離工序。在該剝離工序中，從與形成有有機EL設備的玻璃板的一側的面的相反側照射激光，對玻璃板與樹脂層的界面進行加熱。所使用的激光中，有XeCl準分子激光(波長308nm)、Nd-YAG固體激光(波長355nm)、Yb-YAG固體激光(波長343nm)等。

經過如上所述的工序制造的有機EL設備為撓性，具有良好的設備特性。因此，尤其是用于顯示器、觸摸面板、太陽能電池等撓性的電子設備的制造。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2014/073591號

發明內容

發明所要解決的問題

在電子設備的制造工序中，預先準備包含多個玻璃板的玻璃板組，對各玻璃板依次形成有機EL設備。有時在現有的制造工序中存在以下情況：包含在剝離工序中樹脂層從玻璃板的剝離變得不充分的有機EL設備。具體而言，有時有機EL設備中的樹脂層的一部分不從玻璃板剝離而殘存于玻璃板上。

作為解決該問題的方法，有提高激光的照射強度的方法。然而，存在以下擔憂：在該方法中，對樹脂層施加過量的熱應力，將樹脂層從玻璃板剝離后，樹脂層(樹脂基板)與TFT層之間的殘留應力成為原因，而在樹脂基板產生褶皺(局部的膜的剝離)。

如果在樹脂基板產生褶皺，則成為有機EL設備的工作不良的原因。因此，有機EL設備的制造存在成品率變低、生產成本增大的擔憂。

本發明的技術課題在于，使得將玻璃板從電子設備剝離時，在電子設備的樹脂層不易產生褶皺。

用于解決問題的手段

本發明人進行了各種研究，結果發現，通過在對玻璃板與電子設備的樹脂層的界面照射UV激光的工序中，對于玻璃板組的各玻璃板，使波長308～355nm的透射率的偏差為某個固定的值以下，從而變得容易使玻璃板與樹脂層的界面處的加熱狀態均勻，能夠解決上述問題，并作為本發明而提出。

即，本發明涉及一種電子設備的制造方法，其特征在于，具備以下工序：準備工序，準備包含多個玻璃板的玻璃板組；設備形成工序，將包含樹脂層的電子設備形成于上述玻璃板；以及剝離工序，通過對上述電子設備的上述樹脂層與上述玻璃板的界面進行加熱，從而使上述玻璃板從上述電子設備的上述樹脂層剝離，上述多個上述玻璃板具有第一主面、和位于與上述第一主面相反側的第二主面，其中，在上述第一主面形成上述樹脂層，上述多個玻璃板中的波長308nm～355nm的透射率的標準偏差為3.0以下。