[發明專利]用于腔室排氣清潔的清潔單元

在審

• 申請號: 202180039930.6
• 申請日: 2021-05-14
• 公開（公告）號: CN115699246A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 凱爾文·陳;菲利普·艾倫·克勞斯;蔡泰正;哈恩·阮;阿納塔·蘇比瑪尼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種移動清潔模塊，包括：

腔室，其中所述腔室包括第一開口及第二開口；及

蓋，所述蓋密封所述第一開口，其中所述蓋包括：

介電板；

介質諧振器，所述介質諧振器耦接至所述介電板；

單極天線，所述單極天線安置于進入所述介質諧振器中的孔中；及

導電層，所述導電層環繞所述介質諧振器。

2.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述第二開口包括凸緣。

3.如權利要求2所述的移動清潔模塊，其中所述凸緣為KF40凸緣或KF50凸緣。

4.如權利要求1所述的移動清潔模塊，進一步包括：

端口，所述端口用于將氣體引入所述腔室。

5.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述蓋進一步包括用于流動冷卻劑的通道。

6.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述單極天線電耦接至固態微波源。

7.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述蓋進一步包括：

第二介質諧振器，所述第二介質諧振器耦接至所述介電板；及

第二單極天線，所述第二單極天線安置于所述第二介質諧振器中的孔中。

8.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述介質諧振器為與所述介電板分離的主體。

9.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述介質諧振器及所述介電板為整體結構。

10.如權利要求1所述的移動清潔模塊，其中所述導電層包括相鄰于所述介電板的第一導電層及在所述第一導電層上的第二導電層，其中所述第一導電層的熱膨脹系數小于所述第二導電層的熱膨脹系數。

11.一種移動清潔組件，包括：

推車；

固態電子裝置模塊，所述固態電子裝置模塊在所述推車上，其中所述固態電子裝置模塊被配置為產生微波電磁輻射；

處理器，所述處理器在所述推車上且電耦接至所述固態電子裝置模塊；及

等離子體清潔模塊，其中所述等離子體清潔模塊電耦接至所述固態電子裝置模塊。

12.如權利要求11所述的移動清潔組件，進一步包括：

溫度受控容器，所述溫度受控容器在所述推車上且電耦接至所述處理器，其中所述溫度受控容器被配置為維持傳熱流體，且其中所述等離子體清潔模塊流體耦接至所述溫度受控容器。

13.如權利要求11所述的移動清潔組件，進一步包括：

氣體面板，所述氣體面板在所述推車上且電耦接至所述處理器，其中所述等離子體清潔模塊流體耦接至所述氣體面板。

14.如權利要求11所述的移動清潔組件，其中通過120V或240V插座為所述推車供應功率。

15.如權利要求11所述的移動清潔組件，其中所述等離子體清潔模塊包括：

腔室，其中所述腔室包括第一開口及第二開口；及

蓋，所述蓋密封所述第一開口，其中所述蓋包括：

介電板；

介質諧振器，所述介質諧振器耦接至所述介電板；

單極天線，所述單極天線安置于進入所述介質諧振器中的孔中；及

導電層，所述導電層環繞所述介質諧振器。

16.如權利要求15所述的移動清潔組件，其中所述第二開口包括凸緣。