[發明專利]低角度偏移濾波器

在審

• 申請號: 202180037550.9
• 申請日: 2021-03-24
• 公開（公告）號: CN115698781A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: G·J·奧克肯福斯
• 申請（專利權）人: VIAVI科技有限公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 崔慧玲

1.一種光學薄膜濾波器，包括：

第一組濾波器層，具有第一折射率；以及

第二組濾波器層，具有第二折射率，

所述第一組濾波器層具有第一組厚度，所述第二組濾波器層具有第二組厚度，所述第一折射率具有第一值，并且所述第二折射率具有第二值，以使得所述光學薄膜濾波器具有大于或等于所述光學薄膜濾波器的最高折射率組成材料的折射率的95％的有效折射率。

2.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述光學薄膜濾波器的所述最高折射率組成材料是折射率為3.75的氫化硅材料，以及

其中所述有效折射率大于或等于3.56，以及

其中在30度入射角處的相對角度偏移小于所述光學薄膜濾波器的中心波長的1.0％。

3.根據權利要求2所述的光學薄膜濾波器，其中所述中心波長為940納米。

4.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述光學薄膜濾波器的所述最高折射率組成材料是折射率為2.38的鈮鈦氧化物材料，以及

其中所述有效折射率大于或等于2.261，以及

其中在30度入射角處的相對角度偏移小于所述光學薄膜濾波器的截止波長的2.48％。

5.根據權利要求4所述的光學薄膜濾波器，其中所述截止波長為650nm。

6.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中對于介于0度與30度之間的入射角，所述光學薄膜濾波器的中心波長處的角度偏移小于所述中心波長的0.6％。

7.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述有效折射率由以下形式的關系確定：

其中n_eff是所述有效折射率，θ是特定入射角，λ₀是在法向入射角處的特定波長，并且λ_θ是在所述特定入射角處的角度偏移波長。

8.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述光學薄膜濾波器的帶通介于200納米(nm)與14000nm之間。

9.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述第一組濾波器層的第一材料和所述第二組濾波器層的第二材料形成交替的高折射率層和低折射率層的組。

10.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述第一組濾波器層或所述第二組濾波器層中的至少一者包括以下各項中的至少一項：

硅層，

二氧化硅層，

氫化硅層，

五氧化鉭層，

五氧化鈮層，

鈮鈦氧化物層，

鈮鉭氧化物層，

二氧化鈦層，

氮化硅層，或

氮化鋁層。

11.根據權利要求1所述的光學薄膜濾波器，其中所述光學薄膜濾波器是以下各項中的至少一項：

帶通濾波器，

雙帶通濾波器，

n-帶通濾波器，

陷波濾波器，

長波通濾波器，

短波通濾波器，

偏振分束器，或

非偏振分束器。

12.一種光學薄膜濾波器，包括：

多個濾波器層，

其中所述多個濾波器層包括交替的高折射率層和低折射率層，

其中所述多個濾波器層被分成所述多個濾波器層的第一子集和所述多個濾波器層的第二子集，

其中所述多個濾波器層的所述第一子集包括具有各自大于第一值的一個或兩個厚度的一個或兩個濾波器層，

其中所述多個濾波器層的所述第二子集包括所述多個濾波器層的具有各自小于第二值的相應厚度的剩余部分，以及

其中所述第一值與所述第二值的比率大于2:1并且小于5:1。