[發明專利]光掃描裝置、對象物識別裝置以及光掃描方法

在審

• 申請號: 202180032902.1
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN115552313A
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 蘆田雄樹
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G01S7/491;G01S17/34;G02B26/08
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶

1.一種光掃描裝置，其中，

具有：

波長掃描光生成部，生成波長連續地變化的基準光以及測量光；

空間相位調制元件，具有反射所述測量光的多個光柵構件，通過使所述光柵構件位移來對所述測量光執行相位調制；

投影光學系統，通過將由所述空間相位調制元件執行相位調制后的所述測量光成形為直線狀，將直線狀地延伸的所述測量光投影至對象物；以及

受光部，具有直線狀地排列的多個光電檢測器，將被所述對象物反射的所述測量光引導至多個所述光電檢測器，

所述受光部將與所述基準光重疊的所述測量光引導至多個所述光電檢測器，

多個所述光電檢測器檢測重疊的所述基準光以及所述測量光，

所述空間相位調制元件通過控制多個所述光柵構件彼此的位移，對所述對象物掃描所述測量光。

2.如權利要求1所述的光掃描裝置，其中，

所述投影光學系統通過一邊使所述測量光在延設方向上擴展一邊在從所述延設方向觀察時對所述測量光進行準直，將沿所述延設方向直線狀地延伸的所述測量光投影至所述對象物。

3.如權利要求1或2所述的光掃描裝置，其中，

所述受光部具有分別與多個所述光電檢測器相對應且直線狀地排列的多個透鏡，

被所述對象物反射的所述測量光入射至多個所述透鏡，

所述透鏡將入射而來的所述測量光引導至相對應的所述光電檢測器。

4.如權利要求3所述的光掃描裝置，其中，

所述受光部還具有分別與多個所述光電檢測器相對應且直線狀地排列的多個光合成器，

所述光合成器使所述基準光重疊于透過與同一個所述光電檢測器對應的所述透鏡的所述測量光后，將所述測量光以及所述基準光引導至相對應的所述光電檢測器。

5.如權利要求1至4中任一項所述的光掃描裝置，其中，

所述光掃描裝置還具有設置于所述波長掃描光生成部與所述空間相位調制元件之間的照射光學系統，

多個所述光柵構件在排列方向上排列，

所述光柵構件具有沿與所述排列方向正交的長度方向延伸的形狀，

所述照射光學系統使所述測量光在所述長度方向上會聚到所述空間相位調制元件，并且在從所述長度方向觀察時使所述測量光準直到所述空間相位調制元件。

6.一種對象物識別裝置，其中，

具有：

權利要求1至5中任一項所述的光掃描裝置；以及

控制部，基于所述光掃描裝置所具有的多個光電檢測器的檢測結果來計算與對象物之間的位置關系。

7.一種光掃描方法，其中，

具有：

生成波長連續地變化的基準光以及測量光的工序；

通過使具有反射所述測量光的多個光柵構件的空間相位調制元件的所述光柵構件位移，來對所述測量光執行相位調制的工序；

通過將執行相位調制后的所述測量光成形為直線狀，將直線狀地延伸的所述測量光投影至對象物的工序；

使被所述對象物反射的所述測量光與所述基準光重疊的工序；以及

通過直線狀地排列的多個光電檢測器檢測重疊的所述測量光和所述基準光的工序，

通過控制所述空間相位調制元件的多個所述光柵構件彼此的位移，對所述對象物掃描所述測量光。