[實用新型]一種芯片膠膜真空負壓分離機構有效
| 申請號: | 202123307567.8 | 申請日: | 2021-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN216902874U | 公開(公告)日: | 2022-07-05 |
| 發明(設計)人: | 劉世洪;彭勇;王釗;倪權;金郡;陳爽;陶高松 | 申請(專利權)人: | 池州華宇電子科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 247100 安徽省*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 膠膜 真空 分離 機構 | ||
1.一種芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于包括底板、載膜板、同步帶傳動機構、滑槽、負壓撕膜機構,所述的載膜板位于底板頂部,所述的載膜板與底板通過螺栓相連,所述的同步帶傳動機構安裝于底板與載膜板之間,所述的滑槽位于載膜板上端,所述的滑槽貫穿載膜板的主體,所述的負壓撕膜機構位于同步帶傳動機構上端且伸入滑槽內,所述的負壓撕膜機構與同步帶傳動機構通過螺栓相連;
所述的負壓撕膜機構還包括卡板、氣箱、吸嘴、撕膜板、滑塊,所述的卡板位于同步帶傳動機構上端,所述的卡板與同步帶傳動機構通過螺栓相連,所述的氣箱位于卡板外側,所述的氣箱與卡板通過螺栓相連,所述的吸嘴位于氣箱上端且伸入滑槽,所述的吸嘴與氣箱焊接相連,所述吸嘴的頂面與載膜板的頂面平齊,所述的撕膜板插入吸嘴內側,所述撕膜板的頂面不高于吸嘴的頂面,所述的滑塊位于卡板下端,所述的滑塊與卡板通過螺栓相連。
2.如權利要求1所述的芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于所述的底板還設有導軌,所述的導軌位于底板上端且位于滑塊下端,所述的導軌與底板通過螺栓相連。
3.如權利要求1所述的芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于所述的同步帶傳動機構包括步進電機、第一帶輪、第二帶輪、同步帶,所述的步進電機位于底板上端,所述的步進電機與底板通過螺栓相連,所述的第一帶輪位于步進電機下端,所述的第一帶輪與步進電機通過螺栓相連,所述的第二帶輪位于底板上端,所述的第二帶輪與底板通過螺栓相連,所述的同步帶分別繞過第一帶輪和第二帶輪且與卡板通過螺栓相連。
4.如權利要求1所述的芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于所述的吸嘴還設有第一卡槽,所述的第一卡槽位于吸嘴內側,所述的第一卡槽不貫穿吸嘴主體。
5.如權利要求4所述的芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于所述的吸嘴還設有第二卡槽,所述的第二卡槽位于吸嘴內側,所述的第二卡槽的軸線與第一卡槽的軸線垂直。
6.如權利要求5所述的芯片膠膜真空負壓分離機構,其特征在于所述的撕膜板包括加強部、刮板部,所述的加強部插入第一卡槽內側,所述的刮板部插入第二卡槽內側且位于被加強部貫穿,所述的刮板部與加強部焊接相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





