[實用新型]金剛石合成用斜外擴鉬環

有效

• 申請號: 202122805987.2
• 申請日: 2021-11-16
• 公開（公告）號: CN216321767U
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 張能健;陳濤;楊張泉;姚朝增;楊雄
• 申請（專利權）人: 福建鑫德晶新材料科技有限公司
• 主分類號: B01J3/06
• 分類號: B01J3/06
• 代理公司: 福州旭辰知識產權代理事務所(普通合伙) 35233
• 代理人: 盧麗花

本實用新型提供了金剛石合成用斜外擴鉬環,包括一鉬片，所述鉬片的上端面環形陣列開設有若干個螺紋孔，所述鉬片的中心開設有放置通孔，所述鉬片的上端面設置有與所述放置通孔相配合的鉬環，所述鉬環的內側面開設有斜角A；本實用新型結構簡單，操作便捷，能夠便于金剛石種晶均勻的生長。

技術領域

本實用新型涉及金剛石合成技術領域，特別是金剛石合成用斜外擴鉬環。

背景技術

合成金剛石是通過用人工增強增壓的方法，使石墨或其他碳原子物質的結構發生轉變而形成的金剛石。其性能與天然金剛石類似。合成金剛石的方法多達十幾種。按合成技術的特點可分為靜態超高壓法、動態超高壓高溫法和低壓高溫法。按晶體生成的特點可分為直接法、熔媒法和外延法。

在合成金剛石時，需要將種晶放置在氣相沉積爐內的鉬片上進行沉積生長，氣相沉積爐會在種晶的上方以微波激發等離子體，由于微波放電的“邊緣效應”，種晶棱角所接收熱輻射大于面中心，最終會導致種晶生長不均勻，且在沉積時鉬片受熱不均勻，鉬片的內外圈具有溫度差，會導致鉬片上的種晶生長不一致。

發明內容

有鑒于此，本實用新型的目的是提供金剛石合成用斜外擴鉬環，能夠解決上述背景技術的問題。

本實用新型采用以下方法來實現：金剛石合成用斜外擴鉬環,其特征在于：包括一鉬片，所述鉬片的上端面環形陣列開設有若干個螺紋孔，所述鉬片的中心開設有放置通孔，所述鉬片的上端面設置有與所述放置通孔相配合的鉬環，所述鉬環的內側面開設有斜角A。

進一步的，所述鉬片的直徑為Φ1，所述Φ1為89mm。

進一步的，所述鉬環的外直徑為Φ2，所述Φ2為60mm。

進一步的，所述鉬環和所述鉬片的高度均為H，所述H為5mm,所述鉬片的下端面至所述鉬環的上端面距離為L，所述L為10mm.

進一步的，所述斜角A的區間為30°-60°。

進一步的，所述螺紋孔的數量為6個。

進一步的，所述通孔的直徑為Φ3，所述Φ3為50mm。

本實用新型的有益效果在于：本實用新型在裝置中加入了鉬環，能通過鉬環上的斜角來調節等離子球，使鉬片上方等離子球更加扁平，提高鉬片上方等離子體均勻性，有利于放置通孔內的金剛石種晶均勻的生長；在裝置中加入了斜角，斜角能夠使得放置在放置通孔內的鉬片底座上端棱角暴露出來，使得鉬片底座的棱角能夠吸收輝光，縮小鉬片底座內外圈的溫差，有利于金剛石種晶的生長；在裝置中加入了螺紋孔，能夠通過螺紋孔與螺栓進行連接將鉬片進行鎖緊固定，提高鉬片的穩定性，有利于金剛石種晶的生長；本實用新型結構簡單，操作便捷，能夠便于金剛石種晶均勻的生長。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為B-B方向的剖視圖。

圖3為為本實用新型工作狀態圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步說明。

請參閱圖1至圖3所示，本實用新型提供了一實施例，金剛石合成用斜外擴鉬環,包括一鉬片1，所述鉬片1的上端面環形陣列開設有若干個螺紋孔2，通過螺紋孔2上螺旋嵌設螺栓將鉬片1鎖緊固定在氣相沉積爐內的底座上，通過所述鉬片1的中心開設有放置通孔3，將鉬片底座5放置在放置通孔3內，再將金剛石種晶放置在鉬片底座5上，所述鉬片1的上端面設置有與所述放置通孔3相配合的鉬環4，所述鉬環4的內側面開設有斜角A，當氣相沉積爐開始工作時，鉬片底座5上方的等離子球在斜角的作用下等離子球更加扁平，提高鉬片底座5上方等離子體的均勻性，斜角也能夠使得放置在放置通孔3內的鉬片底座5上端棱角暴露出來，使得鉬片底座5的棱角能夠吸收輝光，縮小鉬片底座5內外圈的溫差，有利于金剛石種晶在鉬片底座5上均勻的生長。