[實(shí)用新型]一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202122361796.1 | 申請日: | 2021-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN215869334U | 公開(公告)日: | 2022-02-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王炳星;宋宇馳 | 申請(專利權(quán))人: | 遠(yuǎn)東德豐科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司: | 深圳紫晴專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 張世靜 |
| 地址: | 301800 天津市寶坻區(qū)中關(guān)*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 芯片 生產(chǎn) 工用 固定 裝置 | ||
本實(shí)用新型公開了一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,包括固定臺,所述固定臺外部套有轉(zhuǎn)動臺,所述固定臺與所述轉(zhuǎn)動臺轉(zhuǎn)動連接,所述固定臺下設(shè)有驅(qū)動機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動臺上等距開設(shè)有固定槽,所述固定槽內(nèi)設(shè)有吸取機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動臺的兩端均設(shè)有進(jìn)料裝置和送料裝置,所述進(jìn)料裝置和所述送料裝置均與所述固定槽相匹配,所述固定臺的上設(shè)有輔助機(jī)構(gòu),所述輔助機(jī)構(gòu)均與進(jìn)料裝置和所述送料裝置相匹配。本實(shí)用新型通過對真空吸盤抽真空,進(jìn)而其內(nèi)部形成負(fù)壓,可以對芯片底端進(jìn)行吸附固定,避免夾持時操作不當(dāng),而導(dǎo)致芯片損壞,影響其后續(xù)的使用,保證芯片加工時的安全性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置。
背景技術(shù)
芯片制作完整過程包括芯片設(shè)計、晶片制作、封裝制作、成本測試等幾個環(huán)節(jié),其中晶片片制作過程尤為的復(fù)雜,芯片在生產(chǎn)加工過程中需要對其進(jìn)行固定以便于進(jìn)一步進(jìn)行加工操作。
現(xiàn)有的芯片固定裝置大多都是通過夾持等方式對其進(jìn)行固定的,都是與其硬性接觸,而外力較大時則容易造成芯片在加工時損壞,進(jìn)而影響芯片的成品率,若外力較小則不能對其進(jìn)行很好的固定,在加工時容易發(fā)生偏移,影響加工的質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,包括固定臺,所述固定臺外部套有轉(zhuǎn)動臺,所述固定臺與所述轉(zhuǎn)動臺轉(zhuǎn)動連接,所述固定臺下設(shè)有驅(qū)動機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動臺上等距開設(shè)有固定槽,所述固定槽內(nèi)設(shè)有吸取機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動臺的兩端均設(shè)有進(jìn)料裝置和送料裝置,所述進(jìn)料裝置和所述送料裝置均與所述固定槽相匹配,所述固定臺的上設(shè)有輔助機(jī)構(gòu),所述輔助機(jī)構(gòu)均與進(jìn)料裝置和所述送料裝置相匹配。
優(yōu)選的,所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在轉(zhuǎn)動臺下的電機(jī),所述電機(jī)輸出端設(shè)有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有齒輪,所述齒輪的一側(cè)嚙合設(shè)有環(huán)形齒條,所述環(huán)形齒條與所述轉(zhuǎn)動臺固定連接。
優(yōu)選的,所述吸取機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在轉(zhuǎn)動臺內(nèi)部的真空發(fā)生器,所述真空發(fā)生器的一端設(shè)有連接管,所述連接管上等距設(shè)有豎管,所述豎管均貫穿所述轉(zhuǎn)動臺并延伸至所述固定槽內(nèi)部設(shè)有真空吸盤。
優(yōu)選的,所述輔助機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在固定臺一端的連接板,所述連接板的一端設(shè)有抽風(fēng)機(jī),所述連接板遠(yuǎn)離所述抽風(fēng)機(jī)的一端設(shè)有連接嘴,所述連接嘴與所述抽風(fēng)機(jī)相連通,所述抽風(fēng)機(jī)與所述進(jìn)料裝置相匹配。
優(yōu)選的,所述輔助機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在固定臺靠近送料裝置一端的連接板,所述連接板的一端設(shè)有吹風(fēng)機(jī),所述連接板遠(yuǎn)離所述吹風(fēng)機(jī)的一端設(shè)有連接嘴,所述連接嘴與所述吹風(fēng)機(jī)相連通,所述吹風(fēng)機(jī)與所述送料裝置相匹配。
優(yōu)選的,所述進(jìn)料裝置和所述送料裝置的兩端均設(shè)有擋板,所述進(jìn)料裝置和所述送料裝置上均等距設(shè)有凸起。
優(yōu)選的,所述固定槽的周側(cè)面設(shè)有弧形擋塊,所述弧形擋塊的頂端與所述進(jìn)料裝置和送料裝置的底端相齊平。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:
(1)在使用時,需要加工的芯片經(jīng)過進(jìn)料裝置將其輸送到轉(zhuǎn)動臺上的固定槽內(nèi),此時通過抽風(fēng)機(jī)工作,通過連接嘴可以對芯片產(chǎn)生吸引力,配合進(jìn)料裝置可以將其吸入到固定槽內(nèi)部,此時再通過真空發(fā)生器工作,經(jīng)過連接管和豎管可以對固定槽內(nèi)的真空吸盤抽真空,進(jìn)而其內(nèi)部形成負(fù)壓,可以對芯片底端進(jìn)行吸附固定,避免夾持時操作不當(dāng),而導(dǎo)致芯片損壞,影響其后續(xù)的使用,真空吸盤等距設(shè)有多個,可以對芯片吸取更加穩(wěn)定,受力均勻,進(jìn)而不會出現(xiàn)在吸取固定時因受力不均勻而導(dǎo)致其發(fā)生損壞,保證芯片加工時的安全性;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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