[實(shí)用新型]一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202122361796.1 | 申請(qǐng)日: | 2021-09-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN215869334U | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-02-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王炳星;宋宇馳 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 遠(yuǎn)東德豐科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司: | 深圳紫晴專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 張世靜 |
| 地址: | 301800 天津市寶坻區(qū)中關(guān)*** | 國(guó)省代碼: | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 芯片 生產(chǎn) 工用 固定 裝置 | ||
1.一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,包括固定臺(tái)(3),其特征在于:所述固定臺(tái)(3)外部套有轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1),所述固定臺(tái)(3)與所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述固定臺(tái)(3)下設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)上等距開(kāi)設(shè)有固定槽(6),所述固定槽(6)內(nèi)設(shè)有吸取機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)的兩端均設(shè)有進(jìn)料裝置(11)和送料裝置(12),所述進(jìn)料裝置(11)和所述送料裝置(12)均與所述固定槽(6)相匹配,所述固定臺(tái)(3)的上設(shè)有輔助機(jī)構(gòu),所述輔助機(jī)構(gòu)均與進(jìn)料裝置(11)和所述送料裝置(12)相匹配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)下的電機(jī)(2),所述電機(jī)(2)輸出端設(shè)有轉(zhuǎn)軸(17),所述轉(zhuǎn)軸(17)上設(shè)有齒輪(16),所述齒輪(16)的一側(cè)嚙合設(shè)有環(huán)形齒條(15),所述環(huán)形齒條(15)與所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述吸取機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)內(nèi)部的真空發(fā)生器(18),所述真空發(fā)生器(18)的一端設(shè)有連接管(19),所述連接管(19)上等距設(shè)有豎管(20),所述豎管(20)均貫穿所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(1)并延伸至所述固定槽(6)內(nèi)部設(shè)有真空吸盤(pán)(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述輔助機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在固定臺(tái)(3)一端的連接板(9),所述連接板(9)的一端設(shè)有抽風(fēng)機(jī)(8),所述連接板(9)遠(yuǎn)離所述抽風(fēng)機(jī)(8)的一端設(shè)有連接嘴(10),所述連接嘴(10)與所述抽風(fēng)機(jī)(8)相連通,所述抽風(fēng)機(jī)(8)與所述進(jìn)料裝置(11)相匹配。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述輔助機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在固定臺(tái)(3)靠近送料裝置(12)一端的連接板(9),所述連接板(9)的一端設(shè)有吹風(fēng)機(jī)(7),所述連接板(9)遠(yuǎn)離所述吹風(fēng)機(jī)(7)的一端設(shè)有連接嘴(10),所述連接嘴(10)與所述吹風(fēng)機(jī)(7)相連通,所述吹風(fēng)機(jī)(7)與所述送料裝置(12)相匹配。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述進(jìn)料裝置(11)和所述送料裝置(12)的兩端均設(shè)有擋板(13),所述進(jìn)料裝置(11)和所述送料裝置(12)上均等距設(shè)有凸起(14)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)加工用固定裝置,其特征在于:所述固定槽(6)的周側(cè)面設(shè)有弧形擋塊(4),所述弧形擋塊(4)的頂端與所述進(jìn)料裝置(11)和送料裝置(12)的底端相齊平。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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