[發(fā)明專利]集成差分式角傳感器的掃描微鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810403477.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108519673B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫泉;雷宏杰;溫志渝;庾繁;黃良坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08
• 代理公司: 重慶華科專利事務(wù)所 50123
• 代理人: 康海燕

1.一種集成差分式角傳感器的掃描微鏡，包括芯片、MEMS反射鏡面、電磁驅(qū)動(dòng)器和角傳感器；其特征在于：

所述芯片包括中心鏡板、扭轉(zhuǎn)梁、支撐框架；中心鏡板通過(guò)一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁懸置于支撐框架中；

所述電磁驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)線圈位于中心鏡板的表面；

所述角傳感器為差分式結(jié)構(gòu)，由位于中心鏡板上偏離扭轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)角傳感線圈構(gòu)成，每一側(cè)的角傳感線圈均在中心鏡板的表面；

所述MEMS反射鏡面緊貼在集成了電磁驅(qū)動(dòng)器與角傳感器的芯片的中心鏡板；所述芯片以FR4或鋁為基底材料，利用PCB技術(shù)一體化加工而成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成差分式角傳感器的掃描微鏡，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)線圈與差分式角傳感線圈均采用雙層走線方式布于中心鏡板正反面，兩層線圈通過(guò)通孔連接，并經(jīng)由扭轉(zhuǎn)梁引出與焊盤(pán)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成差分式角傳感器的掃描微鏡，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)線圈與角傳感線圈均為漸開(kāi)式雙層多匝銅線圈，利用PCB技術(shù)加工而成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成差分式角傳感器的掃描微鏡，其特征在于：所述中心鏡板與硅基MEMS反射鏡面均為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，漸開(kāi)式雙層多匝銅線圈為長(zhǎng)方形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成差分式角傳感器的掃描微鏡，其特征在于：所述中心鏡板位于整個(gè)芯片的中間位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5之任一項(xiàng)所述的集成差分式角傳感器的掃描微鏡，其特征在于：所述MEMS反射鏡面以單晶硅片為基底材料，利用MEMS技術(shù)在其上濺射鋁層后直接劃片而成；然后，利用環(huán)氧樹(shù)脂將其粘貼于所述中心鏡板上。