[實用新型]一種FBAR濾波器

有效

• 申請號: 202121477979.3
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN216146303U
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 李麗;張仕強;李宏軍;王勝福;王磊;于江濤;張韶華;楊亮;李亮;梁東升;韓易;王茜龍;田思源
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: H03H9/56
• 分類號: H03H9/56;H03H9/58
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 付曉娣

本實用新型涉及濾波器技術領域，提供一種FBAR濾波器，包括輸入端子、輸出端子、多個串聯的薄膜體聲波諧振器和多個并聯的薄膜體聲波諧振器；多個串聯的薄膜體聲波諧振器包括第一薄膜體聲波諧振器至第五薄膜體聲波諧振器，串聯連接在輸入端子和輸出端子間；多個并聯的薄膜體聲波諧振器包括第六薄膜體聲波諧振器第七薄膜體聲波諧振器、第八薄膜體聲波諧振器和第九薄膜體聲波諧振器，第六薄膜體聲波諧振器至第九薄膜體聲波諧振器的一端分別連接在多個串聯的薄膜體聲波諧振器中相鄰的兩個薄膜體聲波諧振器之間的節點上，另一端分別連接接地端子。上述濾波器可允許特定頻率的信號通過。

技術領域

本實用新型屬于濾波器技術領域，更具體地說，是涉及一種FBAR濾波器。

背景技術

近年來，隨著5G無線通信技術的不斷發展，通過利用更高頻段以及頻段重組來實現移動通信，這對相關射頻元器件的微型化、高頻帶寬化、集成化及柔性化提出了越來越高的要求。

薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)濾波器憑借其尺寸小、諧振頻率高、品質因數高、功率容量大、滾降效應好等優良特性，正逐步取代傳統的聲表面波濾波器和陶瓷濾波器，在射頻濾波器領域占有越來越大的市場份額，在5G無線通信射頻領域發揮著巨大作用。

然而目前對FBAR濾波器的研究大多集中在制備方法上，對FBAR濾波器的具體結構的研究較少。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種FBAR濾波器，旨在提供一種FBAR濾波器的新型結構。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種中心頻率為2550MHz的FBAR濾波器，包括輸入端子、輸出端子、多個串聯的薄膜體聲波諧振器和多個并聯的薄膜體聲波諧振器；

多個串聯的薄膜體聲波諧振器包括第一薄膜體聲波諧振器、第二薄膜體聲波諧振器、第三薄膜體聲波諧振器、第四薄膜體聲波諧振器和第五薄膜體聲波諧振器，串聯連接在輸入端子和輸出端子之間；

多個并聯的薄膜體聲波諧振器包括第六薄膜體聲波諧振器、第七薄膜體聲波諧振器、第八薄膜體聲波諧振器和第九薄膜體聲波諧振器，第六薄膜體聲波諧振器、第七薄膜體聲波諧振器、第八薄膜體聲波諧振器和第九薄膜體聲波諧振器的一端分別連接在多個串聯的薄膜體聲波諧振器中相鄰的兩個薄膜體聲波諧振器之間的節點上；第六薄膜體聲波諧振器和第九薄膜體聲波諧振器的另一端分別連接接地端子，第七薄膜體聲波諧振器的另一端和第八薄膜體聲波諧振器另一端共同連接接地端子。

本實用新型實施例中的濾波器包括多個串聯在輸入端子和輸出端子之間的薄膜體聲波諧振器、及多個并聯連接在串聯連接的多個薄膜體聲波諧振器節點之間的薄膜體聲波諧振器。信號通過輸入端子，經過上述多個串聯的薄膜體聲波諧振器和多個并聯的薄膜體聲波諧振器之后，可允許特定頻率的信號通過。

結合第一方面，在一種可能的實現方式中，多個串聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同；多個并聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同。

結合第一方面，在一種可能的實現方式中，多個串聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和多個并聯的薄膜體聲波諧振器的并聯諧振頻率相同。

結合第一方面，在一種可能的實現方式中，在FBAR濾波器的電路對稱時，第一薄膜體聲波諧振器和第五薄膜體聲波諧振器的面積相同，第二薄膜體聲波諧振器和第四薄膜體聲波諧振器的面積相同，第六薄膜體聲波諧振器和第九薄膜體聲波諧振器的面積相同，第七薄膜體聲波諧振器和第八薄膜體聲波諧振器的面積相同。