[實用新型]蓋板結構、基板載具和電化學沉積設備

有效

• 申請號: 202121278004.8
• 申請日: 2021-06-08
• 公開（公告）號: CN216192809U
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 董鵬程;閆俊偉;袁廣才;王成飛;王大軍;張國才;董士豪;曹占鋒;谷新;劉英偉;汪建國;姚舜禹;李樹磊;孫少東
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D17/08;C25D7/12
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 魏艷新;姜春咸

公開了一種蓋板結構、基板載具和電化學沉積設備。蓋板結構用于基板載具中，所述基板載具包括：承載板和設置在所述承載板上的電極，所述承載板具有承載區，所述承載區用于承載待鍍膜的基板，所述電極環繞所述承載區；所述蓋板結構包括：蓋板本體，所述蓋板本體包括：框形的安裝板；設置在所述安裝板上、且彼此間隔的多個導電件，每個所述導電件具有第一導電端和第二導電端，所述第一導電端用于與所述基板接觸，所述第二導電端用于與所述電極接觸，所述第一導電端到所述安裝板的距離、所述第二導電端到所述安裝板的距離均可調。

技術領域

本公開涉及電化學沉積領域，具體涉及一種蓋板結構、基板載具和電化學沉積設備。

背景技術

電化學沉積工藝是一種低成本的化學性成膜方式，可以沉積得到任意厚度的金屬層。

實用新型內容

本公開提出了一種蓋板結構、基板載具和電化學沉積設備。

第一方面，本公開提供一種蓋板結構，用于基板載具中，所述基板載具包括：承載板和設置在所述承載板上的電極，所述承載板具有承載區，所述承載區用于承載待鍍膜的基板，所述電極環繞所述承載區；所述蓋板結構包括：

蓋板本體，所述蓋板本體包括：框形的安裝板；

設置在所述安裝板上、且彼此間隔的多個導電件，每個所述導電件具有第一導電端和第二導電端，所述第一導電端用于與所述基板接觸，所述第二導電端用于與所述電極接觸，所述第一導電端到所述安裝板的距離、所述第二導電端到所述安裝板的距離均可調。

在一些實施例中，所述導電件包括：

保護殼，設置在所述安裝板上，所述保護殼上設置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔的軸線均沿所述安裝板的厚度方向延伸；

第一導電部，穿設在所述第一通孔中，并用于沿所述第一通孔的軸線方向與所述保護殼發生相對移動，所述第一導電部遠離所述安裝板的一端用作所述第一導電端；

第二導電部，穿設在所述第二通孔中，并用于沿所述第二通孔的軸線方向與所述保護殼發生相對移動，所述第二導電部遠離所述安裝板的一端用作所述第二導電端；

導線，設置在所述保護殼內，并連接所述第一導電部和所述第二導電部。

在一些實施例中，所述第一導電部包括：

第一導電桿和第一導電塊，所述第一導電桿穿設在所述第一通孔中，所述第一導電桿遠離所述安裝板的一端與所述第一導電塊連接；

第一彈性件，設置在所述保護殼與所述第一導電塊之間，且所述第一彈性件的兩端分別抵靠在所述安裝殼和所述第一導電塊上。

在一些實施例中，所述第二導電部包括：

第二導電桿和第二導電塊，所述第二導電桿穿設在所述第二通孔中，所述第二導電桿遠離所述安裝板的一端與所述第二導電塊連接；

第二彈性件，設置在所述保護殼與所述第二導電塊之間，且所述第二彈性件的兩端分別抵靠在所述安裝殼和所述第二導電塊上。

在一些實施例中，所述第一導電部靠近所述安裝板的一端上設置有第一限位件，所述第二導電部靠近所述安裝板的一端上設置有第二限位件。

在一些實施例中，所述安裝板上的多個導電件均勻分布。

在一些實施例中，所述安裝板具有第一框形邊緣和第二框形邊緣，所述第二框形邊緣環繞所述第一框形邊緣；

所述蓋板本體還包括：第一側板和第二側板，所述第一側板的頂端與所述第一框形邊緣連接，所述第二側板的頂端與所述第二框形邊緣連接，