[實用新型]機械手用末端執行機構、機械手與晶圓搬運裝置

有效

• 申請號: 202120802092.0
• 申請日: 2021-04-19
• 公開（公告）號: CN214870645U
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 葉曉通;黃晶;黃國輝
• 申請（專利權）人: 深圳眾為興技術股份有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B25J15/08;B25J11/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

本實用新型公開了一種機械手用末端執行機構、機械手與晶圓搬運設備，其中，末端執行機構包括支座、手指組件、第一絲桿以及驅動組件，手指組件包括并列設置的第一手指和第二手指，第一手指與第二手指均滑動連接于支座，第一手指與第二手指均用于晶圓的承載；第一絲桿轉動連接支座，第一絲桿包括第一段和第二段，第一段與第二段均設置有螺紋，兩個螺紋的螺旋方向相反，其中，第一手指螺紋連接于第一段，第二手指螺紋連接于第二段；驅動組件與第一絲桿相連接，用于驅動第一絲桿轉動。通過采用上述方案，即保證了晶圓的輸送效率，又保證了末端執行機構適用不同層間距的放置盒。

技術領域

本實用新型涉及晶圓的技術領域，尤其涉及一種機械手用末端執行機構、機械手與晶圓搬運裝置。

背景技術

半導體機械手是專用于半導體制造技術領域晶圓加工及檢測設備各工位之間傳送搬運晶圓產品的特定裝置，隨著半導體制造技術的升級及產能增長，對半導體機械手傳送搬運晶圓產品有了更高精度和更高效率以及更柔性化的高要求。

相關技術中，機械手末端執行器多為單指或多指固定式，其中，單指晶圓搬運機械手末端的執行器在晶圓傳送過程中一次只能取放一張晶圓，大大降低了晶圓的輸送效率；而多指固定式晶圓搬運機械手末端的執行器的結構中，多個手指間距相同，導致執行器無法適應不同層間距的放置盒。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型提出一種機械手用末端執行機構，能夠高效地輸送晶圓，并適應不同層間距的放置盒。

本實用新型還提出一種具有上述機械手用末端執行機構的機械手。

本實用新型還提出一種具有上述機械手的晶圓搬運設備。

根據本實用新型實施例的機械手用末端執行機構，包括：

支座；

手指組件，包括并列設置的第一手指和第二手指，所述第一手指與所述第二手指均滑動連接于所述支座，所述第一手指與所述第二手指用于晶圓的承載；

第一絲桿，轉動連接所述支座，所述第一絲桿包括第一段和第二段，所述第一段與所述第二段均設置有螺紋，兩個所述螺紋的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺紋連接于所述第一段，所述第二手指螺紋連接于所述第二段；

驅動組件，與所述第一絲桿相連接，用于驅動所述第一絲桿轉動。

根據本實用新型實施例的機械手用末端執行機構，至少具有如下有益效果：末端執行機構使用時，第一手指與第二手指均能夠承載一個晶圓，因此，末端執行機構能夠同時承載兩個晶圓，機械手能夠同時進行兩個晶圓的輸送，晶圓的輸送效率得到提高；同時，第一段的螺紋與第二段的螺紋螺旋方向相反，第一絲桿驅動第一手指與第二手指相向運動或彼此遠離運動，從而調整第一手指與第二手指之間的間距，進而使該間距剛好適配相應放置盒的兩個承載盤之間的間距，末端執行機構能夠適應不同層間距的放置盒。

根據本實用新型的一些實施例，所述手指組件還包括用于承載晶圓的中部手指，所述中部手指固定連接于所述支座、并位于所述第一手指與所述第二手指之間，其中，兩個所述螺紋的導程相同，以使所述中部手指分別與所述第一手指、所述第二手指的間距相同。

根據本實用新型的一些實施例，所述手指組件還包括第三手指和第四手指，所述第三手指并列位于所述第一手指遠離所述中部手指的一側、并滑動連接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指遠離所述中部手指的一側、并滑動連接于所述支座；

所述末端執行機構還包括轉動連接于所述支座、并與所述第一絲桿平行設置的第二絲桿，所述第三手指螺紋連接于所述第二絲桿的第一段，所述第四手指螺紋連接于所述第二絲桿的第二段，其中，所述驅動組件與所述第二絲桿相連接，用于驅動所述第二絲桿轉動；其中，所述第三手指與所述第四手指分別是所述第一手指與所述第二手指的移動速度的兩倍。