[實用新型]機械手用末端執行機構、機械手與晶圓搬運裝置

有效

• 申請號: 202120802092.0
• 申請日: 2021-04-19
• 公開（公告）號: CN214870645U
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 葉曉通;黃晶;黃國輝
• 申請（專利權）人: 深圳眾為興技術股份有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B25J15/08;B25J11/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

1.機械手用末端執行機構，其特征在于，包括：

支座；

手指組件，包括并列設置的第一手指和第二手指，所述第一手指與所述第二手指均滑動連接于所述支座，所述第一手指與所述第二手指用于晶圓的承載；

第一絲桿，轉動連接所述支座，所述第一絲桿包括第一段和第二段，所述第一段與所述第二段均設置有螺紋，兩個所述螺紋的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺紋連接于所述第一段，所述第二手指螺紋連接于所述第二段；

驅動組件，與所述第一絲桿相連接，用于驅動所述第一絲桿轉動。

2.根據權利要求1所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述手指組件還包括用于承載晶圓的中部手指，所述中部手指固定連接于所述支座、并位于所述第一手指與所述第二手指之間，其中，兩個所述螺紋的導程相同，以使所述中部手指分別與所述第一手指、所述第二手指的間距相同。

3.根據權利要求2所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述手指組件還包括第三手指和第四手指，所述第三手指并列位于所述第一手指遠離所述中部手指的一側、并滑動連接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指遠離所述中部手指的一側、并滑動連接于所述支座；

所述末端執行機構還包括轉動連接于所述支座、并與所述第一絲桿平行設置的第二絲桿，所述第三手指螺紋連接于所述第二絲桿的第一段，所述第四手指螺紋連接于所述第二絲桿的第二段；所述驅動組件與所述第二絲桿相連接，用于驅動所述第二絲桿轉動；

其中，所述第三手指與所述第四手指分別是所述第一手指與所述第二手指的移動速度的兩倍。

4.根據權利要求3所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述驅動組件包括兩個第一驅動件，一個所述第一驅動件與所述第一絲桿相連接，用于驅動所述第一絲桿轉動；另一個所述第一驅動件與所述第二絲桿相連接，用于驅動所述第二絲桿轉動。

5.根據權利要求3所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述驅動組件包括第二驅動件和傳動組件，所述傳動組件連接于所述第二驅動件、所述第一絲桿與所述第二絲桿之間，以使驅動件能夠驅動所述第一絲桿與所述第二絲桿轉動；

其中，當所述第一絲桿與所述第二絲桿的導程一致時，所述傳動組件使所述第二絲桿的轉速是所述第一絲桿的轉速的二倍；或，當所述第二絲桿的導程是所述第一絲桿導程的兩倍時，所述傳動組件使所述第二絲桿的轉速是所述第一絲桿的轉速一致。

6.根據權利要求5所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述傳動組件包括第一傳動輪、第二傳動輪、第三傳動輪與傳動帶，第一傳動輪固定連接于所述第二驅動件的驅動軸，所述第二傳動輪固定連接第一絲桿，所述第三傳動輪固定連接于所述第二絲桿，所述第二傳動輪的直徑是所述第三傳動輪的直徑的二倍；所述傳動帶繞設于所述第一傳動輪、所述第二傳動輪以及所述第三傳動輪；

或，

所述傳動組件為齒輪組件，所述齒輪組件由若干個相互嚙合的齒輪組成，其中，所述齒輪組件至少包括第一齒輪、第二齒輪以及第三齒輪，所述第一齒輪固定連接于所述第二驅動件的驅動軸，所述第二齒輪固定連接所述第一絲桿，所述第三齒輪固定連接于所述第二絲桿，所述第二齒輪的直徑是所述第三齒輪的直徑的二倍。

7.根據權利要求3所述的機械手用末端執行機構，其特征在于，所述手指組件還包括第一滑動座、第二滑動座、第三滑動座、第四滑動座與固定座，所述第一滑動座與所述第二滑動座均滑動連接于所述支座、并與所述第一絲桿螺紋連接，所述第一手指可拆卸連接于所述第一滑動座，所述第二手指可拆卸連接于所述第二滑動座；所述第三滑動座與所述第四滑動座均滑動連接于所述支座、并與所述第二絲桿螺紋連接，所述第三手指可拆卸連接于所述第三滑動座，所述第四手指可拆卸連接于所述第四滑動座，所述固定座固定連接于所述支座，所述中部手指可拆卸連接所述固定座。