[實用新型]長效運轉的轉子結構

有效

• 申請號: 202120714244.1
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN215719613U
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 孫世源;方志強;陳建勛
• 申請（專利權）人: 日揚科技股份有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/32;F04D29/38
• 代理公司: 北京思格頌知識產權代理有限公司 11635
• 代理人: 潘珺;王申

本實用新型涉及一種長效運轉的轉子結構包含轉子本體及復數個轉子葉片，其中復數個轉子葉片環設轉子本體之外側且縱向分布形成復數個轉子葉片層，其中轉子葉片層具有至少一第一轉子葉片層以及復數個第二轉子葉片層，其中第一轉子葉片層之尾端系以第一橫向距離相距渦輪分子式真空泵之容室之側壁，第二轉子葉片層之尾端系以第二橫向距離相距容室之側壁，第一橫向距離系實質大于第二橫向距離，藉以在保持抽氣效率的情況下，防止轉子葉片在旋轉過程中摩擦碰觸容室之階梯段上之沉積物而產生晃動，故能有效防止轉子葉片因撞擊其他葉片而碎裂，進而減少維修頻率，達到長效運轉的目的。

技術領域

本實用新型是有關于一種轉子結構，特別是有關于一種長效運轉的轉子結構。

背景技術

近年來由于半導體產業蓬勃發展，因而造成半導體前段制程之相關設備需求量大增，其中高真空系統中的心臟組件─渦輪分子式真空泵更成為需求量極大之高真空系統組件。目前的渦輪分子式真空泵，系可驅動鏈接于其上之轉子以進行真空抽氣之制程，氣體分子經由轉子葉片之帶動而進入下一層之定子葉片，而氣體分子經由撞擊定子葉片而轉向之后，便可進入下一層之轉子葉片。渦輪分子式真空泵之作用原理系利用高速旋轉之傾斜葉片使系統中原本混亂運動之氣體分子朝出口運動，并利用多層轉子葉片與定子葉片之交錯排列來提高其壓縮比。故渦輪分子式真空泵具有高真空度、高排氣效率以及無油氣污染等特性。惟，在渦輪分子式真空泵的容室中，還是有少量空間，例如階梯段，特別容易積存粉塵顆粒。因此，傳統半導體等制程中時常需要停機清除沉積物，否則轉子葉片容易因碰觸沉積物而在高速旋轉時產生晃動現象，進而撞擊其他葉片而發生碎裂現象，故傳統維修周期相當短。

實用新型內容

有鑒于上述現有技術之問題，本實用新型之一目的就是在提供一種長效運轉的轉子結構，以解決轉子葉片因碰觸真空泵之腔室內的沉積物所產生的問題。

為達前述目的，本實用新型提出一種長效運轉的轉子結構，適用于裝設在一渦輪分子式真空泵之一容室中，該渦輪分子式真空泵之該容室中設有一驅動裝置，該轉子結構包含：一轉子本體，設于該渦輪分子式真空泵之該容室中，且套定于該驅動裝置之一旋轉軸上，其中該驅動裝置系轉動該轉子本體；以及復數個轉子葉片，環設于該轉子本體之外側且縱向分布形成復數個轉子葉片層，其中該些轉子葉片層具有至少一第一轉子葉片層以及復數個第二轉子葉片層，其中該第一轉子葉片層之尾端系以一第一橫向距離相距該容室之一側壁，該些第二轉子葉片層之尾端系以一第二橫向距離相距該容室之該側壁，該第一橫向距離系實質大于該第二橫向距離，藉以在保持抽氣效率的情況下，防止第一轉子葉片層在旋轉過程中摩擦碰觸容室之階梯段上之沉積物而產生晃動，能有效防止第一轉子葉片層因撞擊其他葉片而碎裂，故能減少維修頻率，達到長效運轉的目的。

其中，該渦輪分子式真空泵更包含一槽體以及復數個定子葉片，該槽體設于該渦輪分子式真空泵之一容置空間中，該些定子葉片系環設于復數個間隔板上，該些間隔板系依序堆疊于該槽體上，藉以使得該些定子葉片縱向分布形成復數個定子葉片層，其中該些定子葉片層與該些轉子葉片層系縱向交錯設置，且該些間隔板及該槽體系共同圍繞出該容室，其中該階梯段位于該槽體上。

其中，該第一轉子葉片層為該些轉子葉片層中之一最底層轉子葉片層，該第一轉子葉片層之高度低于該些定子葉片層中之一最底層定子葉片層之高度，該第一轉子葉片層系經過移除程序，使得該第一轉子葉片層之尾端以該第一橫向距離相距該容室之該側壁。

其中，該第一橫向距離與該第二橫向距離之數值差為小于30mm。

其中，該第一橫向距離與該第二橫向距離之數值差小于或等于鄰接該第一轉子葉片層之該些第二轉子葉片層中之一者之長度值。

其中，該第一轉子葉片層之長度實質小于鄰接該第一轉子葉片層之該些第二轉子葉片層中之一者之長度。

其中，該第一轉子葉片層之長度實質相同于鄰接該第一轉子葉片層之該些第二轉子葉片層中之一者之長度。