[發(fā)明專利]整體式精密五軸調(diào)整裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810099368.2
• 申請日: 2008-05-06
• 公開（公告）號: CN101290384A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方林;陳新宏
• 申請（專利權(quán)）人: 芯碩半導(dǎo)體（中國）有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00
• 代理公司: 合肥金安專利事務(wù)所
• 代理人: 金惠貞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)器件在空間的多自由度精密調(diào)整的多維精密調(diào)整機構(gòu)。

背景技術(shù)

目前，國內(nèi)外現(xiàn)有精密光學(xué)器件的多維精密調(diào)整機構(gòu)的產(chǎn)品種類繁多，通過螺旋傳動、齒輪傳動，以及直線導(dǎo)軌移動來實現(xiàn)精密光學(xué)器件多個自由度的移動和轉(zhuǎn)動。但是，公知技術(shù)中采用單軸調(diào)整機構(gòu)安裝拼接成五軸調(diào)整機構(gòu)，其結(jié)構(gòu)尺寸往往會超出產(chǎn)品空間結(jié)構(gòu)的限制。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述五軸調(diào)整機構(gòu)體積大，不能滿足與精密光學(xué)器件配套裝配要求，本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)緊湊的整體式精密五軸調(diào)整裝置。

具體的結(jié)構(gòu)設(shè)計方案如下：

整體式精密五軸調(diào)整裝置包括一個熱沉21，所述熱沉通過熱沉主軸23設(shè)于U形光源組合固定架16內(nèi)；

U形光源組合固定架16底部對稱中心通過軸套17固定連接著主軸2，U形光源組合固定架16底部外側(cè)面固定設(shè)有Z軸大齒輪25；

主軸2上套設(shè)有齒輪拖配連接板13，主軸2中部通過螺紋配合連接著螺紋調(diào)節(jié)套26，主基座6通過下軸套4套裝在主軸2下部；螺紋調(diào)節(jié)套26上部固定套設(shè)有Z軸移動齒輪27，下部套設(shè)有環(huán)形壓蓋30，環(huán)形壓蓋30固定連接著主基座6；

齒輪拖配連接板13一側(cè)通過軸承設(shè)有平行與主軸2的Z向移動調(diào)節(jié)軸3，Z向移動調(diào)節(jié)軸3的上端設(shè)有與Z軸大齒輪25嚙合的小齒輪14，其下部貫穿伸至主基座6外；

主基座6另一側(cè)設(shè)有平行于主軸2的Z向升降調(diào)節(jié)軸33，Z向升降調(diào)節(jié)軸33上端設(shè)有與Z軸移動齒輪27配合的Z軸移動小齒輪29；

主基座6為矩形座，其外側(cè)套設(shè)有內(nèi)框板8和外框板9；主基座6與內(nèi)框板8相對應(yīng)兩側(cè)分別設(shè)有X向移動左滑軌7和X向移動右滑軌31；內(nèi)框板8與外框板9相對應(yīng)兩側(cè)分別設(shè)有Y向移動左滑軌45和Y向移動右滑軌42。

X向移動左滑軌7外側(cè)的內(nèi)框板8上設(shè)有與齒輪拖配連接板13對應(yīng)的X向螺微調(diào)節(jié)擋板12，外框板9上對應(yīng)設(shè)有X向螺微調(diào)節(jié)桿支架10，X向螺微調(diào)節(jié)桿支架10上設(shè)有X向螺紋調(diào)節(jié)桿11，X向螺紋調(diào)節(jié)桿11的內(nèi)端對應(yīng)著X向螺微調(diào)節(jié)擋板12外側(cè)面。

所述主基座6上設(shè)有與Z軸移動齒輪27對應(yīng)的Y軸移動調(diào)節(jié)推板39，內(nèi)框板8上對應(yīng)設(shè)有Y軸移動調(diào)節(jié)支架40，Y軸移動調(diào)節(jié)支架40上設(shè)有Y軸移動調(diào)節(jié)桿41，Y軸移動調(diào)節(jié)桿41的內(nèi)端與Y軸移動調(diào)節(jié)推板39對應(yīng)。

所述U形光源組合固定架16一側(cè)架板上部兩側(cè)分別開有Z向調(diào)節(jié)槽，兩個調(diào)節(jié)擋桿35分別固定設(shè)于熱沉21側(cè)壁上，兩個調(diào)節(jié)擋桿35的另一端分別位于調(diào)節(jié)槽內(nèi)36；兩個Z向調(diào)節(jié)槽頂部分別連通著螺紋孔，一個螺紋孔內(nèi)設(shè)有彈簧37和壓蓋38，彈簧37位于調(diào)節(jié)擋桿上部，另一個螺紋孔內(nèi)設(shè)有調(diào)節(jié)螺桿20，調(diào)節(jié)螺桿20下端與另一調(diào)節(jié)擋桿桿端接觸；U形光源組合固定架16另一側(cè)架板外連接著平行夾緊板，夾緊板上對應(yīng)熱沉主軸23處開有軸孔，軸孔上部連接著垂直夾緊槽，垂直夾緊槽上部的夾緊塊配合設(shè)有水平螺紋孔和夾緊螺桿，熱沉主軸23的外伸端位于軸孔內(nèi)。

所述Z向移動調(diào)節(jié)軸3的下端設(shè)有Z向旋扭1。

所述Z向升降調(diào)節(jié)軸33的下端設(shè)有Z向旋扭34。

本發(fā)明的有益技術(shù)效果是：采用螺旋傳動和直線導(dǎo)軌組合實現(xiàn)載物平臺的三維精密平移調(diào)整，采用齒輪傳動和滑動軸承組合，實現(xiàn)載物平臺的兩軸旋轉(zhuǎn)調(diào)整，從而實現(xiàn)載物平臺的五軸精密調(diào)整；本發(fā)明將五軸調(diào)整機構(gòu)整合為一體，設(shè)計合理。與單軸平臺組裝起來的調(diào)整裝置相比，不僅結(jié)構(gòu)簡單緊湊，實現(xiàn)了該調(diào)整機構(gòu)的結(jié)構(gòu)緊湊、工作穩(wěn)定可靠；且調(diào)整便捷，可實現(xiàn)連續(xù)微調(diào)，實現(xiàn)了該機構(gòu)的快速精密可調(diào)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明主視軸測圖，

圖2為圖1的后視軸測圖，

圖3為本發(fā)明主視圖，

圖4為圖3的俯視圖，

圖5為圖3的仰視圖，

圖6為圖3右視圖，

圖7為圖3的A-A剖視圖，

圖8為圖4的B-B部視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖，通過實施例對本發(fā)明作進一步地描述。

實施例：

參見圖1-圖8，整體式精密五軸調(diào)整裝置包括一個熱沉21，所述熱沉通過左軸套19、右軸套24、熱沉主軸23和軸承蓋22安裝于U形光源組合固定架16內(nèi)；

U形光源組合固定架16底部對稱中心通過軸套17和彈性擋圈18固定連接著主軸2，U形光源組合固定架16底部外側(cè)面固定設(shè)有Z軸大齒輪25；