[實用新型]簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202120256880.4 | 申請日： | 2021-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN214277983U | 公開（公告）日： | 2021-09-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄭曉虎;谷洲之 | 申請（專利權）人： | 淮陰工學院 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04;G01R27/08 |
| 代理公司： | 淮安市科文知識產(chǎn)權事務所 32223 | 代理人： | 吳宏宇 |
| 地址： | 223005 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 簡支梁法 檢測 石墨 烯壓阻 因子 | ||
【權利要求書】：
1.簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，包括箱體、氮氣源，氮氣源連接箱體；
矩形梁，矩形梁長度方向的兩端通過鉸鏈連接到支架上；
矩形梁的上端面粘貼帶有檢測電極及參比電極的石墨烯硅片，石墨烯硅片粘貼到矩形梁的中部；
矩形梁的中部下方對應設置有用于使矩形梁產(chǎn)生形變的高度調節(jié)裝置。
2.如權利要求1所述的簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，高度調節(jié)裝置為螺桿升降機構，螺桿升降機構包括與支架螺紋連接的螺桿，螺桿上端固定軸承，軸承固定在矩形梁的下端面中部。
3.如權利要求1所述的簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，高度調節(jié)裝置氣缸，氣缸的缸體固定在支架上，氣缸的活塞桿上端固定在矩形梁下端面中部。
4.如權利要求1所述的簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，檢測電極為Ti/Au金屬電極。
5.如權利要求2所述的簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，石墨烯硅片的基底為硅片，硅片表面二氧化硅薄膜層的厚度為300納米。
6.如權利要求1所述的簡支梁法檢測石墨烯壓阻因子，其特征在于，矩形梁厚度為2毫米的鋁或銅金屬板帶。
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