[發明專利]壓印產品的制造設備及其方法

在審

• 申請號: 202111565505.9
• 申請日: 2021-12-20
• 公開（公告）號: CN116277912A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 郝芳;范兵;沈洪磊;孫萬方
• 申請（專利權）人: 上海鯤游科技有限公司
• 主分類號: B29C59/02
• 分類號: B29C59/02;B29C59/00
• 代理公司: 廣東法仁律師事務所 44870
• 代理人: 杜瑋

本發明提供一種壓印產品的制造方法，包括步驟如下：(a)壓合一壓印模具并形成一壓印產品；以及(b)通入氣體分離所述壓印產品與所述壓印模具。其中使用氣體來分離所述壓印模具和所述壓印產品，并通過調節氣體壓力和吹掃的角度，解決大面積壓印產品難分離的問題。

技術領域

本發明涉及一種微納結構的制造設備，尤其涉及一種壓印產品制造設備及其方法。

背景技術

近年來，電子相關產品持續朝向輕薄短小化發展，因此加工尺寸也隨之微小化，特別是各種創新加工技術的出現，也發展各式各樣的微細制造模具。對于現今的微細制造模具通常采用微結構壓印的方式制造模具，其中的方法為在一基板或一基底材料的一表面上涂布樹脂膠，其作為一光阻層，接著將具有所需圖形或結構的一模具壓印在所述樹脂膠上，再經固化之后，分離所述模具，以使所述基板上的光阻層形成具有與模具圖形或結構相反之光阻圖案層或光阻結構層，接著再進一步形成具有微納結構的模具。然而，所述樹脂膠經固化之后，所述樹脂膠與所述模具結合的比較牢固，較難以分離，目前的分離方式都是采用一楔形物嵌入所述樹脂膠和所述模具之間，然后逐步擴大間隙，最終使所述模具與所述樹脂膠分離。然后具有微納結構的所述樹脂膠結合在基底表面上形成納米壓印的產品，當中分離的所述模具將繼續使用。

很明顯的，目前對于微結構壓印制程中，所述樹脂膠和所述模具的分離方式中存在一些缺點，像是由于所述基底材料或所述基板的厚度不同，有些甚至具有脆性，因此在分離過程中常導致所述基底材料或所述基板可能出現破裂的情況，進而影響產品良率。而且，利用楔形物嵌入所述樹脂膠和所述模具之間的分離方法中，與操作人員本身的操作手法關系較大，不同經驗的的人員產生所述基底材料或所述基板破裂的概率將會是不同。也就是說，在制程上不可控制的因素較大，這將不利于大量生產制造。而且，對于所述樹脂膠和所述模具之間的接觸面積較大時更是難以分離二者。也就是說，對于面積較大幅的結構而言，初始分離可能相對容易，但是到達中心區域時將更難以分離。另外，雖然材料越具有剛性，越容易分離，但是越具有剛性且越薄的所述基底材料或所述基板，也意味著具有脆性將在分離過程中更容易出現破裂的情況。而且，利用楔形物直接接觸所述模具的微納結構面和壓印產品的微納結構面，將容易損傷模具和壓印產品。

進一步地說，本發明針對傳統的模具分離方法存在基底材料容易破裂，分離的產品合格率穩定性差，大面積的壓印產品難分離，容易損傷模具和壓印產品等問題，發明了一種模具分離方法。

發明內容

本發明的一個優勢在于其提供一種壓印產品制造設備及其方法，其中吹氣的方式分離一壓印模具和一基底材料，以有效解決模具分離時，所述基底材料容易破裂的問題。

本發明的一個優勢在于其提供一種壓印產品制造設備及其方法，其中使用氣體分離所述壓印模具，可以根據基底材料的強度，調節氣體壓力，解決所述基底材料容易破裂的問題，從而使合格率穩定提升。

本發明的一個優勢在于其提供一種壓印產品制造設備及其方法，其中使用氣體來分離所述壓印產品和所述壓印模具，以解決大面積所述基底材料難分離的問題，并通過調節氣體壓力和吹掃的角度，解決大面積壓印產品難分離的問題。

本發明的一個優勢在于其提供一種壓印產品制造設備及其方法，其中使用氣體來分離所述壓印產品和所述壓印模具的一結構模具和一支撐模具，以解決一體地形成在所述結構模具和所述支撐模具之間的所述壓印產品難分離的問題。

本發明的一個優勢在于其提供一種壓印產品制造設備及其方法，其中使用氣體來分離所述壓印產品和所述壓印模具，非直接接觸，因此可以避免利用楔形物大面積接觸模具和壓印產品造成的損傷。

本發明的另一優勢在于其提供一種適于，其中不需要精密的部件和復雜的結構，其制造工藝簡單，成本低廉。

依本發明，能夠實現前述目的和其他目的和優勢的本發明的一壓印產品的制造方法，包括步驟如下：

(a)壓合一壓印模具并形成一壓印產品；以及