[發明專利]平行面檢測系統和方法

在審

• 申請號: 202111546615.0
• 申請日: 2021-12-16
• 公開（公告）號: CN114264254A
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 焦敬恩;李萌;王東峰
• 申請（專利權）人: 嘉興聚速電子技術有限公司;北京川速微波科技有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 邵玉龍

本發明實施例提供平行面檢測系統和方法，所述系統包括：第一平面，設置有第一檢測區和第一反射鏡，第二平面，設置有第二檢測區和第二反射鏡，面激光器，設置于第一平面和第二平面之間，分別向第一平面和第二平面發出第一激光和第二激光，第一激光和第二激光在一條直線上，當第一激光在第一檢測區的位置與第二反射鏡反射的光束在第一平面的位置重合，且第二激光在第二檢測區的位置與第一反射鏡反射的光束在第二平面的位置重合時，判定第一平面與第二平面平行且中心對準。本發明提高了平行面檢測的結果準確度和一致性。

技術領域

本發明涉及校準技術領域，尤其涉及一種平行面檢測系統和方法。

背景技術

在一些高精度的技術領域，經常需要對兩個平行面是否平行進行檢測。現有的平行面檢測方法包括以下兩種：

第一種是透光法，即用樣板平尺測量，一般選用刀刃式尺(又叫直刃尺)測量平面度。檢驗時，將平尺垂直放在被測平面上，刃口朝下，對著光源，觀看刃口與平面之間縫隙的透光情況,以判斷平面的平面度誤差。

第二種是著色法，在工件的平面上涂一層很薄的顯示劑(紅印油等)，將工件放到測量平上，使涂顯示劑的平面與平板接觸，然后雙手扶住工件，在平板上平穩地動(呈8字形移動)。移動數次后，取下工件觀察平面上摩擦痕跡的分布況，以確定平面度誤差。

上述兩種方法在進行平行面的檢測時，均依靠肉眼觀察，測量精度低，測量結果不具有一致性。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種平行面檢測系統和方法，能解決現有技術中兩個平行面檢測時存在的檢測精度較低和一致性較差的技術問題。

第一方面，本發明實施例提供一種平行面檢測系統，包括：

第一平面，其上設置有第一檢測區和第一反射鏡；

第二平面，其上設置有第二檢測區和第二反射鏡；

面激光器，設置于所述第一平面和第二平面之間，所述面激光器朝向所述第一平面發出第一激光，所述面激光器朝向第二平面發出第二激光，所述第一激光和所述第二激光在一條直線上；

所述第一激光照射在所述第一檢測區，所述第二激光照射在所述第二反射鏡，所述第二反射鏡將光束反射在所述第一平面；

所述第二激光照射在所述第二檢測區，所述第一激光照射在所述第一反射鏡，所述第一反射鏡將光束反射在所述第二平面；

當所述第一激光在所述第一檢測區的位置與所述第二反射鏡反射的光束在所述第一平面的位置重合，且所述第二激光在所述第二檢測區的位置與所述第一反射鏡反射的光束在所述第二平面的位置重合時，判定所述第一平面與所述第二平面平行且中心對準。

進一步的，所述第一檢測區和所述第二檢測區均包括原始激光照射區和反射激光照射區，所述原始激光照射區的面積小于所述反射激光照射區的面積。

進一步的，所述原始激光照射區位于所述反射激光照射區中間。

進一步的，所述原始激光照射區的面積為所述反射激光照射區面積的一半。

進一步的，當所述第一激光照射在所述第一檢測區的原始激光照射區的位置與所述第二反射鏡反射的光束在所述第一檢測區的反射激光照射區的位置重合，且所述第二激光在所述第二檢測區的原始激光照射區的位置與所述第一反射鏡反射的光束在所述第二檢測區的反射激光照射區的位置重合時，判定所述第一平面與所述第二平面平行且中心對準。

進一步的，所述第一檢測區的原始激光照射區的寬度與所述第一激光發出的光束的寬度相同；所述第二檢測區的原始激光照射區的寬度與所述第二激光發出的光束的寬度相同；所述第一檢測區的反射激光照射區的寬度與所述第二反射鏡反射的光束的寬度相同；所述第二檢測區的反射激光照射區的寬度與所述第一反射鏡反射的光束的寬度相同。