[發明專利]一種濺鍍鍍膜設備

在審

• 申請號: 202111526366.9
• 申請日: 2021-12-14
• 公開（公告）號: CN114351101A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 汪子健;周進
• 申請（專利權）人: 汪子健
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濺鍍鍍膜設備，包括箱體(1)、固定連接在箱體(1)一側壁的固定桿(2)、靶材支架(3)、靶材(4)、基片支架(5)和基片(6)，固定桿(2)的一端固定連接在靶材支架(3)的中部，靶材(4)固定安裝在靶材支架(3)的一側，基片支架(5)設于遠離靶材(4)一端的箱體(1)內，基片(6)固定安裝在基片支架(5)的一側，其特征在于：所述箱體(1)的側壁上開設有兩個對稱設置的滑槽(7)，所述基片支架(5)的兩端均固定安裝有滾輪(8)，且滾輪(8)在滑槽(7)的內部滑動，所述基片支架(5)的中部固定安裝有第一伸縮桿(9)，所述第一伸縮桿(9)的一端固定安裝有第一活塞(10)，所述第一伸縮桿(9)上套設有第一彈簧(11)，且第一彈簧(11)的兩端分別固定連接在基片支架(5)和第一活塞(10)上，所述第一活塞(10)的一側固定安裝有兩個對稱設置的第二彈簧(12)，兩個所述第二彈簧(12)的一端固定安裝在箱體(1)的內部上，所述箱體(1)的一側內開設有第一內腔(13)，所述第一內腔(13)的內部固定安裝有透明刻度板(14)，所述第一活塞(10)上固定安裝有指針(15)，所述指針(15)的針尖指向透明刻度板(14)的刻度；

所述箱體(1)的一側固定安裝有收集箱(16)，所述收集箱(16)的內部設有用于回收再利用箱體(1)內部的氬氣的二次利用機構，所述箱體(1)的側壁上開設有第一凹槽(23)，所述箱體(1)的頂壁上開設有第二凹槽(37)，所述第一凹槽(23)和第二凹槽(37)的內部均設有用于防止箱體(1)內氬氣回流的控制機構，所述箱體(1)的外側設有水泵(28)，所述箱體(1)和靶材(4)內設有用于降低靶材(4)溫度的冷卻機構，所述固定桿(2)上設有用于控制水泵(28)啟停的控制開關，所述箱體(1)和收集箱(16)的內部設有用于移動基片(6)的驅動機構，所述箱體(1)的側壁內固定安裝有通氣管(40)，所述箱體(1)的側壁內設有用于連通通氣管(40)并控制出氣的排氣機構。

2.根據權利要求1所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述二次利用機構包括固定安裝在箱體(1)底端的真空泵(17)，所述收集箱(16)的底端固定安裝有導氣管(18)，所述真空泵(17)的排氣管與導氣管(18)通過軟管連接，所述收集箱(16)的內部固定安裝有隔板(19)，所述隔板(19)上開設有第一通氣口(20)，且隔板(19)和第一通氣口(20)之間設有4A分子篩(21)，所述收集箱(16)的側壁上開設有第二通氣口(22)，且第二通氣口(22)和第一凹槽(23)連通。

3.根據權利要求1所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述控制機構包括固定安裝在第一凹槽(23)內部的固定板(24)，所述固定板(24)的一側固定安裝有第二伸縮桿(25)，且的第二伸縮桿(25)與固定板(24)與之連接處的寬度相同，所述第二伸縮桿(25)的一端固定安裝有第一梯形活塞(26)，所述第二伸縮桿(25)上套接有第三彈簧(27)，且第三彈簧(27)的兩端分別固定連接在固定板(24)和第一梯形活塞(26)上。

4.根據權利要求1所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述冷卻機構包括開設在靶材(4)內部的蛇形槽(29)，所述箱體(1)的內部設有三通接頭(30)，且蛇形槽(29)的兩端分別通過水管與水泵(28)和三通接頭(30)連通。

5.根據權利要求1所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述控制開關包括固定安裝在固定桿(2)上的導電塊(31)，所述導電塊(31)的上端設有導電滑塊(32)，所述導電滑塊(32)的一側固定連接有記憶彈簧(33)。

6.根據權利要求4所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述驅動機構包括固定安裝在三通接頭(30)內部的汽水分離膜(34)，所述箱體(1)的側壁上固定安裝有保溫管(35)，且保溫管(35)的兩端分別通過導管與三通接頭(30)和收集箱(16)連通，所述收集箱(16)的內部滑動安裝有第二活塞(36)，所述收集箱(16)的一側固定安裝有出氣管(38)，且第二凹槽(37)與出氣管(38)連通，所述箱體(1)的側壁上固定安裝有進氣管(39)，所述出氣管(38)與進氣管(39)通過軟管連接。

7.根據權利要求1所述的一種濺鍍鍍膜設備，其特征在于：所述排氣機構包括開設在通氣管(40)上端的第一排氣口(41)，所述箱體(1)的頂壁上開設有第三凹槽(42)，所述第三凹槽(42)的內部滑動安裝有第二梯形活塞(43)，所述第二梯形活塞(43)的一端固定安裝有按壓塊(44)，所述第二梯形活塞(43)上開設有第二排氣口(45)，所述第二梯形活塞(43)的內部開設有第二內腔(46)，所述通氣管(40)的一端貫穿第二梯形活塞(43)的內部并延伸至第二排氣口(45)內，所述通氣管(40)上固定安裝有固定塊(47)，且固定塊(47)設于第二內腔(46)內，所述通氣管(40)上套設有第四彈簧(48)，且第四彈簧(48)的兩端分別固定連接在第二內腔(46)的內壁和固定塊(47)上。