[發明專利]含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物

在審

• 申請號: 202111504806.0
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114624967A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 全吉敏;安奎相;趙庸桓;尹嚆重
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;宋海花

1.一種含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，其包含烷醇胺化合物、芳香族醇化合物以及有機溶劑。

2.根據權利要求1所述的含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，所述金屬包含錫的單一金屬、合金、氧化物、氫氧化物或氮化物。

3.根據權利要求1所述的含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，所述烷醇胺化合物在分子內具有2個以上的羥基。

4.根據權利要求3所述的含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，所述烷醇胺化合物包含以下化學式1～3所表示的化合物中的一種以上：

化學式1

化學式2

化學式3

所述式中，

R為氫或C₁-C₆的烷基，

R¹～R⁴各自獨立地為氫或C₁-C₆的烷基，

m、n、o和p各自獨立地為0～3的整數。

5.根據權利要求1所述的含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，相對于整體組合物100重量％，所述烷醇胺化合物的含量為1～10重量％。

6.根據權利要求1所述的含金屬抗蝕劑用稀釋劑組合物，相對于整體組合物100重量％，所述芳香族醇化合物的含量為1～10重量％。