[發(fā)明專利]光敏樹脂、光刻膠及其制備方法、應(yīng)用

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202111488648.4
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN114106326A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎邁俊;鄭爽;潘錦鋮;吳敏銘
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;G03F7/027;G03F7/038
• 代理公司: 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 黎金娣

1.一種光敏樹脂，其特征在于，其化學(xué)結(jié)構(gòu)式如下：

其中，是含羥基的甲基丙烯酸酯類單體的酯化殘基或含羥基的丙烯酸酯類單體的酯化殘基，是芳香族四酸單體殘基，是芳香族二胺單體殘基，是封端基，m＝0.1～1，n＝10～100。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂，其特征在于，所述每次出現(xiàn)，分別獨(dú)立選自以下基團(tuán)中的一種：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂，其特征在于，所述每次出現(xiàn)，分別獨(dú)立選自以下基團(tuán)中的一種：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂，其特征在于，所述每次出現(xiàn)，分別獨(dú)立選自以下基團(tuán)中的一種：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂，其特征在于，所述每次出現(xiàn)，分別獨(dú)立選自以下基團(tuán)中的一種：

6.一種光敏樹脂的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將R-OH與芳香族二酐單體混合，進(jìn)行酯化反應(yīng)，制備第一中間體；

將所述第一中間體酰氯化，制備第二中間體；

將所述第二中間體與3,3’-二羧基-4,4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯單體、芳香族二胺單體混合，進(jìn)行酰胺化反應(yīng)，用封端劑封端，制備所述光敏樹脂；

其中，所述芳香族二酐單體的結(jié)構(gòu)式為：

所述第一中間體的結(jié)構(gòu)式為：

所述第二中間體的結(jié)構(gòu)式為：

所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯單體的結(jié)構(gòu)式為：

所述芳香族二胺單體的結(jié)構(gòu)式為：

所述封端劑在封端后形成封端基。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于，所述R-OH、所述芳香族二酐單體、所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯單體、所述芳香族二胺單體的物質(zhì)的量之比為(2～2.2):1:(0.65～0.95):(0.05～0.35)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于，所述封端劑選自以下任意一種：

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于，所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯單體的制備方法包括如下步驟：

將4,4’-二羥基-3,3’-聯(lián)苯二甲酸與2-氟-5-硝基三氟甲苯混合，進(jìn)行親核取代反應(yīng)，制備3,3’-二羧基-4,4’-二(4-硝基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯；

將所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-硝基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯中的硝基還原為氨基；

其中，所述4,4’-二羥基-3,3’-聯(lián)苯二甲酸的結(jié)構(gòu)為：

所述2-氟-5-硝基三氟甲苯的結(jié)構(gòu)式為：

所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-硝基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯的結(jié)構(gòu)式為：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于，所述4,4’-二羥基-3,3’-聯(lián)苯二甲酸與所述2-氟-5-硝基三氟甲苯的物質(zhì)的量之比為1:(2.1～2.5)。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于，親核取代反應(yīng)的反應(yīng)條件包括：在催化條件下，反應(yīng)12h～24h；和/或

將所述3,3’-二羧基-4,4’-二(4-硝基-2-三氟甲基苯氧基)聯(lián)苯的硝基還原的反應(yīng)條件包括：在催化條件下，通入氫氣使壓力為3bar～7bar，反應(yīng)4h～8h。