[發明專利]一種電子級過氧化氫水溶液的生產方法

在審

• 申請號: 202111430784.8
• 申請日: 2021-11-29
• 公開（公告）號: CN113912019A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 趙涸浜;李衛紅;易穎鵬;鄧青山;楊云強;曾翔
• 申請（專利權）人: 湖南雙陽高科化工有限公司
• 主分類號: C01B15/013
• 分類號: C01B15/013
• 代理公司: 長沙星耀專利事務所(普通合伙) 43205
• 代理人: 李西寶

一種電子級過氧化氫水溶液的生產方法，將一部分過氧化氫水溶液從蒸發器（1）的頂部進入，經蒸發器（1）加熱后進入蒸發器（1）的濃縮液儲存區（12），在濃縮液儲存區（12）產生的氣體進入精餾塔（2）中，余下部分過氧化氫水溶液從精餾塔（2）的第二進料口進入精餾塔（2），經蒸發器（1）和精餾塔（2）濃縮后合并的過氧化氫水溶液一部分泵入換熱器（13），冷卻至常溫后進入第一級反滲透機構（16），經第一級反滲透機構（16）反滲透后獲得的反滲透液進入第二級反滲透機構（21），經第二級反滲透機構（21）反滲透后獲得的反滲透液經離子交換裝置（28）進行離子交換后制得電子級過氧化氫水溶液。

技術領域

本發明涉及過氧化氫生產技術領域，尤其是涉及一種電子級過氧化氫水溶液的生產方法。

背景技術

過氧化氫水溶液又被成為雙氧水，是一種生產過氧乙酸、過氧化硫脲等過氧化物的重要原料，并廣泛用于醫藥、紡織印染，造紙漂白等行業。隨著電子工業的發展，電子級過氧化氫作為重要的清洗劑和蝕刻劑，其需求量逐漸增大。

電子級過氧化氫直接影響到集成電路性能及其生產的連續性和穩定性。電子級過氧化氫水溶液一般是以工業級過氧化氫水溶液作原料，經一系列精制、凈化得到的。常用方法有蒸餾法、吸附法、萃取法、反滲透膜發法、冷凍結晶法、樹脂法、超濾法。采用單一單元操作對工業過氧化氫水溶液進行純化，雖然能夠提高過氧化氫水溶液的品質， 但單一的方法生產能耗大、成本高且效率低，無法滿足電子市場對過氧化氫產品品質的要求。

CN 112062096 A公開了一種電子級過氧化氫水溶液的生產裝置及生產方法。電子級過氧化氫水溶液的生產裝置包括依次采用管路連接的精餾裝置、第一輸送泵、反滲透裝置、第二輸送泵、離子交換裝置、第三輸送泵、超純過濾裝置、第四輸送泵和灌裝裝置。將工業級過氧化氫通過精餾、反滲透、離子交換，最后通過超濾膜過濾得到電子級過氧化氫水溶液。

目前電子級過氧化氫水溶液的生產，普遍存在高能耗、高成本、生產不靈活等問題。因此，如何提供一種低能耗，靈活適應市場需求，便于生產過程調節的電子級過氧化氫水溶液的生產方法是本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明所要解決的技術問題是如何提供一種能有效降低能耗和冷卻水消耗量，靈活適應市場需求，便于生產調節的電子級過氧化氫水溶液的生產方法。

為了解決上述技術問題，本發明提供一種電子級過氧化氫水溶液的生產方法，將工業級過氧化氫經過氧化氫濃縮裝置濃縮，換熱器冷卻，一級反滲透裝置、二級反滲透裝置反滲透，離子交換裝置離子交換后制得；所述過氧化氫濃縮裝置包括蒸發器，精餾塔，與所述精餾塔的氣相出口連通的冷凝器，與所述冷凝器連接的真空泵，所述蒸發器的濃縮液儲存區與所述精餾塔的第一進料口連通，稀過氧化氫進料管與所述蒸發器的進料口和所述精餾塔的第二進料口連通，所述蒸發器的蒸汽進汽管上設有蒸汽噴射器，所述蒸汽噴射器的吸氣腔通過管道與所述精餾塔的塔頂連通；所述換熱器的第一介質入口與所述蒸發器和精餾塔的濃縮液出口管道連接；所述一級反滲透裝置包括若干進口與所述換熱器的第一介質出口管道連通的進料控制閥，若干進料口分別通過管道與所述進料控制閥的出口連通的第一級反滲透機構，若干分別與所述第一級反滲透機構的反滲透剩余液出口連通的第一出料控制閥，與所述第一出料控制閥連通的第一反滲透剩余液回收管，第一端通過管道與第一級反滲透機構的進料口連通的第一防爆機構，與所述第一防爆機構的另一端連接的第一排空管；所述二級反滲透裝置包括至少一進料口通過管道與所述第一級反滲透機構的滲透液出口連通的第二級反滲透機構，通過管道與所述第二級反滲透機構的反滲透剩余液出口連接的第二出料控制閥，與所述第二出料控制閥連接的第二反滲透剩余液回收管，第一端通過管道與第二級反滲透機構的反滲透剩余液出口連通的第二防爆機構，與所述第二防爆機構的另一端連接的第二排空管，與所述第二級反滲透機構的滲透液出口連通的反滲透液收集管；所述第一介質出口管道與第一反滲透剩余液回收管連通，其連通管道上設有壓力控制閥；所述第一反滲透剩余液回收管與所述蒸發器或/和精餾塔的濃縮液收集管道連接；所述離子交換裝置的進料口與反滲透液收集管連接；