[發明專利]對準裝置、成膜裝置、對準方法、成膜方法及電子器件的制造方法

在審

• 申請號: 202111398680.3
• 申請日: 2021-11-24
• 公開（公告）號: CN114540758A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 緒方俊宏;谷和憲;安川英宏
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/08;C23C14/12;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/68
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

本發明提供一種能夠縮短對準的所需時間的對準裝置。使用如下的對準裝置，該對準裝置具備：具有基板的支承部和按壓基板周緣部的按壓部的基板保持機構；使基板成為被按壓被夾持的按壓狀態或者解除了夾持的分離狀態的驅動機構；掩模保持機構；使基板保持機構和掩模保持機構的至少任一者移動來使基板與掩模的相對距離變化的移動機構；在平面內調整基板與掩模的相對位置的位置調整機構，位置調整機構在基板與掩模的相對距離為第一距離時進行第一位置調整，在第一位置調整之后，在基板與掩模的相對距離成為更短的第二距離時進行第二位置調整，在第一位置調整之前，基板的至少一部分與掩模接觸，且基板成為分離狀態。

技術領域

本發明涉及對準裝置、成膜裝置、對準方法、成膜方法、及電子器件的制造方法。

背景技術

有機EL顯示裝置、液晶顯示裝置等顯示裝置被廣泛使用。其中，使用有機EL顯示器作為平板顯示器的有機EL顯示裝置的響應速度、視場角、薄型化等特性優異，適合使用于監視器、電視機、智能手機等。

在這樣的平板顯示器的制造工序中，在大多數的情況下，進行基板與掩模的位置對合(對準)，經由掩模將成膜材料成膜于基板。例如在有機EL顯示器的情況下，在成膜裝置內，將形成有像素圖案的掩模與基板進行位置對合，經由掩模對有機材料、金屬材料進行成膜，由此在基板上的所希望的位置以所希望的圖案形成功能層、電極金屬層。典型而言，通過夾緊件夾持基板的周緣部，在使基板與掩模的面平行的狀態下，通過使基板在平面內移動來進行對準。

專利文獻1(國際公開第2017/222009號)公開了在載置于掩模臺的掩模的上方，使被夾持了周緣部的基板相對于掩模相對移動來進行對準的技術。在專利文獻1中，進行兩級的對準，所述兩級的對準是指進行大致的位置對合的第一對準(粗對準)和高精度的第二對準(精對準)。并且，在第一對準與第二對準之間，在基板與掩模接觸的狀態下將基板的夾持釋放，由此矯正基板的歪斜。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】國際公開第2017/222009號

發明內容

【發明要解決的課題】

近年來，基板的大型化、薄型化不斷發展，基板的自重引起的撓曲的影響增大。而且，由于將成膜區域設置于基板中央部的關系，能夠夾持基板的部位僅局限于基板的周緣部。因此，如果在通過基板保持機構夾持了基板的周緣部(例如相對的一對邊部)的狀態下將基板載置于掩模，則被夾持了周緣部的基板在由于基板的自重而撓曲的中央部與掩模接觸之際被妨礙自由的動作，在基板產生歪斜。由于該歪斜而在掩模與基板之間產生間隙，掩模與基板的緊貼性下降，由此成為膜模糊等的原因。在基板與掩模接觸的狀態下將基板的夾持釋放，由此消除基板的歪斜，能夠提高掩模與基板的緊貼性。

然而，另一方面，發現了根據該方法而基板的位置可能會偏離這樣的課題。專利文獻1沒有公開在多次進行的對準中的先進行的對準或者從基板被送入起最初進行的對準之前，在基板與掩模接觸的狀態下將基板的夾持釋放的方法。在專利文獻1中，通過對準調整了基板與掩模的相對位置關系之后，首先，在基板與掩模接觸的狀態下將基板周緣部從夾持釋放。雖然基板周緣部的釋放動作可以進行多次，但是通常初次的基板的偏離量大。因此，在專利文獻1記載的方法中，基板的位置從通過對準被調整后的位置發生變化，結果是，對準的所需時間可能會變長。

本發明是鑒于上述課題而作出的發明，其目的在于提供一種能夠縮短對準的所需時間的對準裝置。

【用于解決課題的方案】

本發明采用以下的結構。即，

一種對準裝置，其特征在于，具備：

基板保持機構，所述基板保持機構具有對基板的周緣部進行支承的支承部和與所述支承部相向而按壓所述周緣部的按壓部；