[發(fā)明專利]顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設(shè)備

在審

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• 申請日: 2021-11-22
• 公開（公告）號: CN114035409A
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吁衛(wèi)東;韋亞一;楊尚
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;H05K3/06;B25J9/16
• 代理公司: 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11619
• 代理人: 孔垂超

本申請公開了一種顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設(shè)備。該顯影震蕩裝置包括震蕩控制裝置以及兩兩連接的計算控制裝置、水平探測裝置和機械臂；震蕩控制裝置用于控制機械臂運動的速度、頻率及方向；水平探測裝置用于獲取印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，將偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給計算控制裝置，并在計算控制裝置的控制下調(diào)整機械臂的位姿參數(shù)；計算控制裝置用于根據(jù)偏移數(shù)據(jù)計算出水平探測裝置的調(diào)整參數(shù)，基于調(diào)整參數(shù)控制水平探測裝置調(diào)整機械臂的位姿參數(shù)。本申請的顯影震蕩裝置能夠通過控制機械臂的運動的頻率與速度調(diào)整基板在顯影液中的震蕩參數(shù)，改善印制電路板在生產(chǎn)過程中由于光的衍射、漫反射等效應(yīng)所導(dǎo)致的圖像邊緣有毛邊的缺陷。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，市面上主要采用DMD數(shù)字化掩模光刻技術(shù)(Digital Micromirror Device)來生產(chǎn)印制電路板(Printed Circuit Board，簡稱PCB)。由于衍射效應(yīng)、漫反射、雜散光的存在，使得印制電路板制備工藝中光強能量分散比較彌散，進而導(dǎo)致印制電路板圖像邊緣存在毛邊，如何消除印制電路板制備工藝中由于光能分布彌散所導(dǎo)致的毛邊現(xiàn)象是當(dāng)前亟待解決的一個技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的目的是提供一種顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設(shè)備。為了對披露的實施例的一些方面有一個基本的理解，下面給出了簡單的概括。該概括部分不是泛泛評述，也不是要確定關(guān)鍵/重要組成元素或描繪這些實施例的保護范圍。其唯一目的是用簡單的形式呈現(xiàn)一些概念，以此作為后面的詳細說明的序言。

根據(jù)本申請實施例的一個方面，提供一種顯影震蕩裝置，包括震蕩控制裝置以及兩兩連接的計算控制裝置、水平探測裝置和機械臂；

所述機械臂用于抓取印制電路板基板以及將所述印制電路板基板浸入顯影液進行處理；

所述震蕩控制裝置與所述機械臂電連接，所述震蕩控制裝置用于控制所述機械臂運動的速度、頻率以及方向；

所述水平探測裝置用于獲取所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計算控制裝置，并在所述計算控制裝置的控制下調(diào)整所述機械臂的位姿參數(shù)；

所述計算控制裝置用于根據(jù)所述偏移數(shù)據(jù)計算出所述水平探測裝置的調(diào)整參數(shù)，基于所述調(diào)整參數(shù)控制所述水平探測裝置調(diào)整所述機械臂的位姿參數(shù)。

在本申請的一些實施例中，所述震蕩速度頻率控制裝置包括互相連接的延時控制裝置和電磁控制開關(guān)裝置；

所述電磁控制開關(guān)裝置與所述機械臂電連接，所述電磁控制開關(guān)裝置用于控制所述機械臂沿水平方向運動；

所述延時控制裝置用于基于預(yù)設(shè)頻率通過所述電磁控制開關(guān)裝置控制所述機械臂運動的速度和頻率。

在本申請的一些實施例中，所述水平探測裝置包括計算單元以及分別與所述計算單元相連接的激光發(fā)射單元和激光接收單元；

所述激光發(fā)射單元用于向所述印制電路板基板發(fā)射激光束；

所述激光接收單元用于接收所述印制電路板基板所反射的所述激光束；

所述計算單元用于根據(jù)所述激光束的反射光程差計算所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，并將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計算控制裝置。

根據(jù)本申請實施例的另一個方面，提供一種顯影裝置，包括上述任一項所述的顯影震蕩裝置以及用于盛放所述顯影液的顯影槽。

根據(jù)本申請實施例的另一個方面，提供一種顯影方法，通過上述的顯影裝置實現(xiàn)；所述顯影方法包括：

所述機械臂抓取印制電路板基板以及將所述印制電路板基板浸入所述顯影液進行處理；