[發(fā)明專利]顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111388897.6
• 申請(qǐng)日: 2021-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114035409A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吁衛(wèi)東;韋亞一;楊尚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30;H05K3/06;B25J9/16
• 代理公司: 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11619
• 代理人: 孔垂超

1.一種顯影震蕩裝置，其特征在于，包括震蕩控制裝置以及兩兩連接的計(jì)算控制裝置、水平探測(cè)裝置和機(jī)械臂；

所述機(jī)械臂用于抓取印制電路板基板以及將所述印制電路板基板浸入顯影液進(jìn)行處理；

所述震蕩控制裝置與所述機(jī)械臂電連接，所述震蕩控制裝置用于控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的速度、頻率以及方向；

所述水平探測(cè)裝置用于獲取所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計(jì)算控制裝置，并在所述計(jì)算控制裝置的控制下調(diào)整所述機(jī)械臂的位姿參數(shù)；

所述計(jì)算控制裝置用于根據(jù)所述偏移數(shù)據(jù)計(jì)算出所述水平探測(cè)裝置的調(diào)整參數(shù)，基于所述調(diào)整參數(shù)控制所述水平探測(cè)裝置調(diào)整所述機(jī)械臂的位姿參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影震蕩裝置，其特征在于，所述震蕩速度頻率控制裝置包括互相連接的延時(shí)控制裝置和電磁控制開(kāi)關(guān)裝置；

所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置與所述機(jī)械臂電連接，所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置用于控制所述機(jī)械臂沿水平方向運(yùn)動(dòng)；

所述延時(shí)控制裝置用于基于預(yù)設(shè)頻率通過(guò)所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的速度和頻率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影震蕩裝置，其特征在于，所述水平探測(cè)裝置包括計(jì)算單元以及分別與所述計(jì)算單元相連接的激光發(fā)射單元和激光接收單元；

所述激光發(fā)射單元用于向所述印制電路板基板發(fā)射激光束；

所述激光接收單元用于接收所述印制電路板基板所反射的所述激光束；

所述計(jì)算單元用于根據(jù)所述激光束的反射光程差計(jì)算所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，并將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計(jì)算控制裝置。

4.一種顯影裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的顯影震蕩裝置以及用于盛放所述顯影液的顯影槽。

5.一種顯影方法，其特征在于，通過(guò)權(quán)利要求4所述的顯影裝置實(shí)現(xiàn)；所述顯影方法包括：

所述機(jī)械臂抓取印制電路板基板以及將所述印制電路板基板浸入所述顯影液進(jìn)行處理；

所述震蕩控制裝置控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的速度、頻率以及方向；

所述水平探測(cè)裝置獲取所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計(jì)算控制裝置，并在所述計(jì)算控制裝置的控制下調(diào)整所述機(jī)械臂的位姿參數(shù)；

所述計(jì)算控制裝置根據(jù)所述偏移數(shù)據(jù)計(jì)算出所述水平探測(cè)裝置的調(diào)整參數(shù)，基于所述調(diào)整參數(shù)控制所述水平探測(cè)裝置調(diào)整所述機(jī)械臂的位姿參數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯影方法，其特征在于，所述震蕩速度頻率控制裝置包括互相連接的延時(shí)控制裝置和電磁控制開(kāi)關(guān)裝置；所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置與所述機(jī)械臂電連接；

所述震蕩控制裝置控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的速度、頻率以及方向，包括：

所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置控制所述機(jī)械臂沿水平方向運(yùn)動(dòng)；

所述延時(shí)控制裝置基于預(yù)設(shè)頻率通過(guò)所述電磁控制開(kāi)關(guān)裝置控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的速度和頻率。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯影方法，其特征在于，所述水平探測(cè)裝置包括計(jì)算單元以及分別與所述計(jì)算單元相連接的激光發(fā)射單元和激光接收單元；

所述水平探測(cè)裝置獲取所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計(jì)算控制裝置，包括：

所述激光發(fā)射單元向所述印制電路板基板發(fā)射激光束；

所述激光接收單元接收所述印制電路板基板所反射的所述激光束；

所述計(jì)算單元根據(jù)所述激光束的反射光程差計(jì)算所述印制電路板基板的偏移數(shù)據(jù)，并將所述偏移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述計(jì)算控制裝置。