[發(fā)明專利]一種提高LTCC層間對位精度的方法及LTCC片式器件的制備方法

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• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號(hào): CN114121896A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛峻;賀彪;宋哲宇;丁偉民
• 申請（專利權(quán)）人: 中國兵器工業(yè)集團(tuán)第二一四研究所蘇州研發(fā)中心
• 主分類號(hào): H01L23/544
• 分類號(hào): H01L23/544;H01L21/48
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 張賞

1.一種提高LTCC層間對位精度的方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）在生瓷片四角無圖形區(qū)用4組通孔制作Mark點(diǎn)作為印刷對準(zhǔn)符；

（2）對B層生瓷片通孔鏡像；

（3）在B層生瓷片的正面印刷A層的鏡像圖形；其中，A層、B層為相鄰兩層生瓷片，且B層位于A層下方；

（4）將B層生瓷片聚酯膜面向下，套疊在疊片臺(tái)上，將A層生瓷片聚酯膜面向上套疊在疊片臺(tái)上；

（5）蓋上疊片臺(tái)金屬壓板，將A、B層生瓷片和金屬壓板包裹進(jìn)行真空包封；

（6）放入層壓機(jī)進(jìn)行等靜壓預(yù)壓，預(yù)壓后A、B層生瓷片成為一個(gè)生瓷坯；

（7）將生瓷坯置于真空臺(tái)，揭去覆于B層生瓷片的聚脂膜；

（8）使用與A層鏡像圖形印刷時(shí)的同一組印刷對準(zhǔn)符，在B層生瓷片背面印刷B層圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高LTCC層間對位精度的方法，其特征在于，所述步驟（5）中，用軟橡膠片將A、B層生瓷片和金屬壓板包裹放入包封袋中進(jìn)行真空包封。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高LTCC層間對位精度的方法，其特征在于，所述步驟（6）中，等靜壓預(yù)壓包括預(yù)熱和層壓；

預(yù)熱溫度為70℃，預(yù)熱時(shí)間為10min；

層壓壓力為500~1000psi，溫度為70℃，時(shí)間為10min。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種提高LTCC層間對位精度的方法，其特征在于，所述等靜壓預(yù)壓的層壓壓力為500 psi。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高LTCC層間對位精度的方法，其特征在于，還包括：

將生磁片按照層間順序疊片，確定相鄰的兩片生磁片。

6.一種LTCC片式器件的制備方法，其特征在于，包括：

1）將生磁片按照層間順序疊片；

2）采用權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的對位方法將位于上方的生磁片所需圖像以鏡像的方式印刷于下方的生磁片正面，并進(jìn)行等靜壓預(yù)壓；

3）揭去基板背面的聚脂膜；

4）印刷基板背面焊盤；

5）按常規(guī)工藝進(jìn)行層壓。