[發明專利]一種半導體晶圓制備用硅晶棒研磨加工設備

有效

• 申請號: 202111359361.1
• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號: CN113967874B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 張喬棟;楊萱;李鋒;袁泉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B24B37/02
• 分類號: B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/06;B24B1/00
• 代理公司: 南京文宸知識產權代理有限公司 32500
• 代理人: 賈珍珠

1.一種半導體晶圓制備用硅晶棒研磨加工設備，包括外殼(1),其特征在于：所述外殼(1)的左右側壁均不封閉設置，所述外殼(1)的前側壁上活動連接有門板(2)，所述門板(2)上固定連接有把手(3)，所述外殼(1)的頂面上固定連接有若干個固定管(4)，所述外殼(1)內腔均勻分布固定連接有三個內殼(5)，所述內殼(5)的左側壁不封閉，所述內殼(5)呈外方內圓設置，所述內殼(5)內活動連接有環形殼(6)，所述環形殼(6)內設置有調節機構(7)，所述環形殼(6)的外側壁上固定連接有環形齒輪(8)，所述外殼(1)內腔頂面左右對稱固定連接有兩個安裝板(9)，其中一側所述安裝板(9)的側壁上固定連接有第一電機(10)，所述第一電機(10)的轉子上固定連接有轉軸(11)，所述轉軸(11)貫穿三個內殼(5)并與另一側安裝板(9)活動連接，所述轉軸(11)與內殼(5)之間活動連接，所述轉軸(11)位于內殼(5)內腔的側壁上均固定連接有第一齒輪(12)，所述第一齒輪(12)與環形齒輪(8)之間嚙合，所述外殼(1)的兩側均設置有活動板(13)，所述活動板(13)呈L形設置，其中一個所述活動板(13)的底邊靠近外殼(1)中心一側固定連接有控制機構(14)，兩個所述活動板(13)的底邊頂面上均固定連接有固定塊(15)，所述外殼(1)的底面上開設有兩個活動槽(16)，所述固定塊(15)與活動槽(16)之間活動連接，所述固定塊(15)上螺紋連接有螺紋桿(17)，所述螺紋桿(17)的兩端分別與活動槽(16)的左右兩側側壁活動連接，兩個所述螺紋桿(17)遠離外殼(1)底面中心一端均貫穿外殼(1)側壁并固定連接有第二電機(18)，所述第二電機(18)與外殼(1)之間固定連接，所述螺紋桿(17)與外殼(1)之間活動連接，所述活動板(13)的豎邊靠近外殼(1)一側設置有夾緊機構(19)，所述夾緊機構(19)包括方桿(27)，所述活動板(13)靠近外殼(1)一側的側壁上開設有凹槽(28)，所述方桿(27)貫穿凹槽(28)并與其活動連接，所述方桿(27)靠近外殼(1)一端固定連接有圓臺板(29)，所述圓臺板(29)靠近外殼(1)一側的直徑小于另一側直徑設置，所述圓臺板(29)的側壁上均勻分布活動連接有若干個活動桿(30)，所述活動桿(30)呈T形設置，所述凹槽(28)的側壁上均勻分布開設有若干個側槽(31)，所述活動桿(30)一端與側槽(31)活動連接，所述活動桿(30)長邊一端固定連接有夾板(32)，所述方桿(27)遠離圓臺板(29)一端固定連接有側板(33)，所述方桿(27)上套設有第一彈簧(34)，所述第一彈簧(34)一端與凹槽(28)內壁固定連接，所述方桿(27)另一端與圓臺板(29)固定連接，所述方桿(27)的側壁上前后對稱開設有若干個卡槽(35)，所述活動板(13)遠離外殼(1)一側前后對稱固定連接有兩個平板(36)，所述平板(36)上活動連接有圓桿(37)，所述圓桿(37)靠近方桿(27)一端固定連接有卡齒(38)，所述卡齒(38)插入其中一個卡槽(35)，所述圓桿(37)另一端固定連接有限位板(39)，所述圓桿(37)上套設有第二彈簧(40)，所述第二彈簧(40)一端與平板(36)固定連接，所述第二彈簧(40)另一端與限位板(39)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓制備用硅晶棒研磨加工設備，其特征在于：所述調節機構(7)包括連接板(20)，所述連接板(20)呈L形設置，所述環形殼(6)內腔均勻分布活動連接若干個連接板(20)，所述連接板(20)的長邊貫穿環形殼(6)內側壁并固定連接有研磨片(21)，所述環形殼(6)的左側壁上均勻分布開設有若干個豎槽(22)，所述豎槽(22)貫穿環形殼(6)前側壁，所述環形殼(6)的左側壁上活動連接有環形板(23)，所述環形板(23)上均勻分布開設有若干個斜槽(24)，所述連接板(20)的短邊貫穿豎槽(22)并與斜槽(24)之間活動連接，所述環形板(23)的側壁上螺紋連接有定位螺栓(25)，所述環形殼(6)的左側壁上均勻分布開設有若干個插孔(26)，所述定位螺栓(25)插入其中一個插孔(26)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓制備用硅晶棒研磨加工設備，其特征在于：所述內殼(5)內腔右側壁上開設有圓槽(41)，所述環形殼(6)的右側外壁上均勻分布固定連接有若干個活動塊(42)，所述活動塊(42)與圓槽(41)之間活動連接。