[發明專利]雙波長單光纖色散共焦顯微探測方法與裝置

在審

• 申請號: 202111264039.0
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN113900244A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 曲元;楊佳苗;陳成
• 申請（專利權）人: 紹興鉅光光電科技有限公司
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.雙波長單光纖色散共焦顯微探測方法，其特征在于：雙波長光源發出波長λ₁和λ₂的照明光束；所述照明光束由光纖耦合器的照明端光纖進入，經所述光纖耦合器的耦合單元作用，至所述光纖耦合器的公共端光纖出射形成點照明光束；所述點照明光束通過色散物鏡后形成測量光束，照射在被測樣品表面上；所述色散物鏡對不同波長的光有不同的焦距，將不同波長的光聚焦在所述色散物鏡光軸上不同位置處；被測樣品表面將聚焦在其上的測量光束反射，反射的測量光束經所述色散物鏡沿原光路返回；所述反射的測量光束由所述光纖耦合器的公共端光纖進入，經所述光纖耦合器的耦合單元作用，至所述光纖耦合器的探測端光纖出射；從所述光纖耦合器的探測端光纖出射的測量光束進入波長分光裝置，并根據波長分光使得不同波長的光進入不同的探測區域，從而由探測器探測得到照明波長λ₁和λ₂下的單光纖色散共焦響應強度值I₁和I₂；通過將照明波長λ₁和λ₂下的單光纖色散共焦響應強度值I₁和I₂進行處理得到雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁；根據所述雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁的大小確定被測樣品表面沿測量光束光軸方向的位移信息。

2.根據權利要求1所述的雙波長單光纖色散共焦顯微探測方法，其特征在于：對雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁與被測樣品位移之間的關系進行標定，具體步驟為：控制標定樣品沿測量光束光軸方向移動，利用位移計量裝置測得標準樣品沿測量光束光軸方向的位移值，并同時得到所對應位移值下照明波長λ₁和λ₂下的單光纖色散共焦響應強度值I₁和I₂；通過對所述照明波長λ₁和λ₂下的單光纖色散共焦響應強度值I₁和I₂進行處理得到雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁；通過構建標準樣品位移值與雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁之間的對應關系，實現雙波長差分單光纖色散共焦響應值dI₂₁與被測樣品位移之間關系的標定。