[發(fā)明專利]基片處理系統(tǒng)和基片處理方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111254312.1
• 申請(qǐng)日: 2021-10-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114446820A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 綾部剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;王昊

本發(fā)明提供即使在處理單元中發(fā)生了異常的情況下，也能夠減少?gòu)U棄的基片的數(shù)量的技術(shù)。本發(fā)明的一個(gè)方式的基片處理系統(tǒng)包括：能夠?qū)瑢?shí)施同種的處理的多個(gè)處理單元；對(duì)多個(gè)處理單元進(jìn)行基片的輸送的輸送裝置；以及控制多個(gè)處理單元和輸送裝置的控制部。此外，控制部具有救濟(jì)處理部、輸送處理部和再救濟(jì)處理部。救濟(jì)處理部對(duì)在發(fā)生了異常的異常處理單元中正在處理的滯留基片，在異常處理單元中進(jìn)行救濟(jì)處理。輸送處理部在異常處理單元中不能對(duì)滯留基片進(jìn)行救濟(jì)處理的情況下，基于預(yù)先設(shè)定的輸送模式，將滯留基片從異常處理單元輸送到另一處理單元。再救濟(jì)處理部對(duì)被輸送到另一處理單元的滯留基片再次進(jìn)行救濟(jì)處理。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及基片處理系統(tǒng)和基片處理方法。

背景技術(shù)

一直以來(lái)，已知有在處理半導(dǎo)體晶片(以下，也稱為晶片。)等基片的基片處理裝置中，使所處理的基片的成品率提高的技術(shù)(參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-148734號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明提供即使在處理單元中發(fā)生了異常的情況下，也能夠減少?gòu)U棄的基片的數(shù)量的技術(shù)。

用于解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)手段

本發(fā)明的一方式的基片處理系統(tǒng)包括：能夠?qū)瑢?shí)施同種的處理的多個(gè)處理單元；對(duì)多個(gè)上述處理單元進(jìn)行上述基片的輸送的輸送裝置；以及控制多個(gè)上述處理單元和上述輸送裝置的控制部。此外，控制部具有救濟(jì)處理部、輸送處理部和再救濟(jì)處理部。救濟(jì)處理部對(duì)在發(fā)生了異常的異常處理單元中正在處理的滯留基片，在上述異常處理單元中進(jìn)行救濟(jì)處理。輸送處理部在上述異常處理單元中不能對(duì)上述滯留基片進(jìn)行救濟(jì)處理的情況下，基于預(yù)先設(shè)定的輸送模式，將上述滯留基片從上述異常處理單元輸送到另一上述處理單元。再救濟(jì)處理部對(duì)被輸送到另一上述處理單元的上述滯留基片再次進(jìn)行救濟(jì)處理。

發(fā)明效果

依照本發(fā)明，即使在處理單元中發(fā)生了異常的情況下，也能夠減少?gòu)U棄的基片的數(shù)量。

附圖說(shuō)明

圖1是表示實(shí)施方式的基片處理系統(tǒng)的概要結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是表示實(shí)施方式的處理單元的具體的結(jié)構(gòu)例的示意圖。

圖3是表示實(shí)施方式的檢查裝置的具體的結(jié)構(gòu)例的示意圖。

圖4是表示實(shí)施方式的清洗裝置的具體的結(jié)構(gòu)例的示意圖。

圖5是表示實(shí)施方式的清洗裝置的具體的結(jié)構(gòu)例的示意圖。

圖6是表示實(shí)施方式的控制裝置的具體的結(jié)構(gòu)例的框圖。

圖7是表示實(shí)施方式的輸送模式存儲(chǔ)部的一例的圖。

圖8是用于說(shuō)明實(shí)施方式的輸送模式的模式1的圖。

圖9是用于說(shuō)明實(shí)施方式的輸送模式的模式2的圖。

圖10是用于說(shuō)明實(shí)施方式的輸送模式的模式3的圖。

圖11是表示實(shí)施方式的檢查信息存儲(chǔ)部的一例的圖。

圖12是表示實(shí)施方式的方案信息存儲(chǔ)部的一例的圖。

圖13是表示實(shí)施方式的輸送信息存儲(chǔ)部的一例的圖。

圖14是表示在實(shí)施方式的基片處理系統(tǒng)中執(zhí)行的基片處理的流程的流程圖。

具體實(shí)施方式