[發(fā)明專利]合成石英玻璃基板的加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111233009.3 | 申請日： | 2021-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN114474412A | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 安藤雅郎;山崎裕之 | 申請（專利權(quán)）人： | 信越化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | B28D1/00 | 分類號： | B28D1/00;B28D1/22 |
| 代理公司： | 中國貿(mào)促會專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038 | 代理人： | 譚冀 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 合成 石英玻璃 加工 方法 | ||
本發(fā)明涉及合成石英玻璃基材的加工方法。通過使作為被加工件的合成石英玻璃基板的表面與由合成石英玻璃制成的保護部件的表面接觸并將合成石英玻璃基板的表面疊放在保護部件的表面上從而實現(xiàn)被加工件和保護部件的光學(xué)接觸接合，并使切削工具通過光學(xué)接觸接合表面來加工合成石英玻璃基板。這種加工方法能夠有效地防止在切削操作期間在切削工具進入部和脫離部處微缺陷的產(chǎn)生。此外，沒有使用固定劑連接被加工件和保護部件，因此生產(chǎn)率高，因為不需要施加固定劑和之后去除固定劑。
本非臨時申請按照35U.S.C.§119(a)要求2020年10月27日于日本提交的專利申請?zhí)?020-179551的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及合成石英玻璃基板的加工方法。
背景技術(shù)
在例如微流體、微透鏡陣列、半導(dǎo)體基板和光學(xué)元件的應(yīng)用中使用的合成石英玻璃基板，在通過加工在其中形成例如通孔、非貫通孔、溝槽和階梯的特征之后被提供使用。通常使用工具例如磨輪或鉆頭來進行這樣的加工。在加工過程中，在被加工件中的開口處例如工具進入部和工具脫離部出現(xiàn)微缺陷例如碎屑、毛邊和裂紋。這些微缺陷是各種應(yīng)用中問題的起因。例如，在微流體中，可出現(xiàn)例如流路阻塞、分析精度減小和外來材料污染的問題。在半導(dǎo)體基板中，在制造過程期間應(yīng)力集中出現(xiàn)在微缺陷區(qū)域，其有時導(dǎo)致例如襯底失效的問題。
在例如在基板中待形成通孔的情況下，為了防止在工具進入部處微缺陷的產(chǎn)生，通常通過將基板與抵靠在待加工的基板側(cè)放置的蓋板一起加工來解決這樣的問題。例如，JP-A S61-288940教導(dǎo)使用粘合劑將鋁合金蓋板層壓到被加工件并將被加工件與蓋板一起加機工的方法。
JP-A 2011-111370描述使用鉆孔工藝的玻璃板制造方法，該鉆孔工藝通過在切削以形成非貫通孔的同時使第一鉆頭從玻璃板的一側(cè)在厚度方向上前進，隨后使初始鉆頭后退然后在切削時使第二鉆頭從玻璃板的另一側(cè)沿著與第一鉆頭相同的軸線前進，從而在玻璃板中產(chǎn)生通孔。在該鉆孔工藝中，至少一個鉆頭具有在軸向方向上恒定直徑的本體、位于本體的鉆頭基端側(cè)上并具有比本體小的直徑的小直徑部、和連接本體和小直徑部的連接部。另外，鉆頭中的一個在從鉆尖延伸到連接部的至少主體側(cè)的區(qū)域中具有切削能力。當(dāng)一個鉆頭前進至它的最大深度時，連接部在厚度方向上到達玻璃板的內(nèi)側(cè)。據(jù)報道通過這個方法防止開口的碎屑。
然而，在JP-A S61-288940中描述的方法中，所述方法在工具進入部抵靠被加工件放置蓋板，因為使用粘合劑來固定蓋板，所以由于粘合劑層而形成的被加工件和蓋板之間的間隙引起微缺陷出現(xiàn)。難以防止這樣的缺陷。另外，不能夠完全防止微缺陷在工具脫離部出現(xiàn)。另外，使用固定劑例如粘合劑或凝結(jié)劑來固定蓋板和基板的方法還需要固定劑施加步驟和固定劑去除步驟，這在生產(chǎn)率方面是不利的。
至于在JP-A 2011-111370中公開的通孔形成方法，這需要能夠在相同的軸上使第一鉆頭和第二鉆頭前進的生產(chǎn)設(shè)備以及另外的專用形狀的鉆頭。另外，防止甚至更小的微缺陷的形成是困難的。
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供合成石英玻璃基板的加工方法，其使缺陷形成最少并具有優(yōu)異的生產(chǎn)率。
作為大量研究的結(jié)果，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了當(dāng)加工合成石英玻璃基板時，通過將合成石英玻璃表面彼此光學(xué)接觸接合然后切削，可在接合表面處抑制在加工期間在切削工具進入部和脫離部處微缺陷的形成。此外，因為在光學(xué)接觸接合中沒有使用固定劑，所以可在加工之后沒有額外步驟的情況下分離合成石英玻璃表面。因此可進行使缺陷最少并且具有良好的生產(chǎn)率的加工。
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