[發明專利]一種反射鏡架及反射裝置

有效

• 申請號: 202111110520.4
• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113917794B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 趙鵬越;葉奕霄;吳劍威;李昌其;鄭健;晏禎卓;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/198
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 闕文鋒;黃華蓮

本發明涉及精密儀器的技術領域，本發明的實施例提供了一種反射鏡架及反射裝置，包括：架本體，所述架本體用于與反射鏡連接；三個安裝件，所述安裝件用于與光刻機計量基準部件連接；以及三個驅動裝置，所有的所述驅動裝置均與所述架本體連接，且三個所述驅動裝置在橫截面上的相互連線形成三角形，所述驅動裝置與所述安裝件一一對應連接，各所述驅動裝置分別用于驅動對應的所述安裝件，以使所述架本體的相應部位相對各所述安裝件沿Z軸方向移動并實現所述反射鏡的位姿調整。

技術領域

本發明涉及精密儀器的技術領域，特別是涉及一種反射鏡架及反射裝置。

背景技術

光刻機或是其他電路刻蝕機等集成電路生產制造設備，使用的工件臺微動臺運動位移量一般十分微小，其位移數量級一般在納米級，測量此類極小尺寸的位移量通常會選擇激光干涉儀。

激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬等優點，激光干涉儀主要包括折射鏡、反射鏡等光學元件，可分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種。由于激光自身的優良特性，使用激光干涉儀測位移時只需注意避免外部干擾，例如反射鏡等光學元件擺放有誤產生的光路錯誤和重力等產生的影響，就可實現對測量對象的高精度位移測量。

然而，現有的光學反射鏡裝配裝置中，由于人工在調整反射鏡姿態時容易受到操作空間環境狹小的約束，產生調節范圍受限的技術問題。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的是提供一種反射鏡架及反射裝置，用于解決現有的光學反射鏡裝配裝置中，由于人工在調整反射鏡姿態時容易受到操作空間環境狹小的約束，產生調節范圍受限的技術問題。

為解決上述技術問題，本發明的實施例采用了如下技術方案：

本實施例提供了一種反射鏡架，包括：

架本體，所述架本體用于與反射鏡連接；

三個安裝件，所述安裝件用于與光刻機計量基準部件連接；

三個驅動裝置，所有的所述驅動裝置都安裝在所述架本體上，且三個所述驅動裝置在橫截面上的相互連線形成三角形，所述驅動裝置與所述安裝件一一對應連接，以使所述架本體的相應部位相對各所述安裝件沿Z軸方向移動并實現所述反射鏡的位姿調整。

進一步地，所述驅動裝置為壓電陶瓷直線電機，其中，所述壓電陶瓷直線電機的定子安裝于所述架本體上，所述壓電陶瓷直線電機的動子與所述安裝件相連接。

進一步地，所述安裝件上設有第一連接件，所述第一連接件用于與所述光刻機計量基準部件連接。

進一步地，所述驅動裝置為壓電陶瓷直線電機，其中，所述壓電陶瓷直線電機的定子安裝于所述架本體上，所述壓電陶瓷直線電機的動子與所述安裝件相連接。

進一步地，所述安裝件上設有第一連接件，所述第一連接件用于與所述光刻機計量基準部件連接。

進一步地，所述第一連接件為三個，其中，所有所述第一連接件均設在所述安裝件上，且所有所述第一連接件在橫截面上的相互連線形成等邊三角形，所述等邊三角形的中心與所述安裝件的幾何中心的在同一豎直軸線上。

進一步地，還包括：

防脫件，所述防脫件第一端與所述安裝件連接，所述防脫件的第二端與所述架本體連接，其中，所述防脫件用于當所述反射鏡調節完成后，對所述反射鏡進行姿態固定。

進一步地，所述安裝件上具有安裝孔，所述安裝孔的軸線位于所述安裝件的幾何中心上，所述驅動裝置插入所述安裝孔內，且與所述安裝孔連接。

進一步地，所述三角形為等腰三角形，且所述等腰三角形的中心與所述架本體的幾何中心處于同一豎直軸線上。

本申請還提供了一種反射裝置，包括