[發明專利]一種工件臺移動裝置

在審

• 申請號: 202111110517.2
• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113917792A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 趙鵬越;王繼堯;吳劍威;鄭健;李昌其;趙博;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;宋亞楠

本發明涉及光刻機技術領域，公開了一種工件臺移動裝置，其包括支撐框架、固定平臺、第一固定機構、移動平臺、第二固定機構和氣浮機構，工作臺通過氣浮機構實現相對于固定平臺或移動平臺移動，與支撐面沒有接觸摩擦，相對于滾輪板簧機構而言消除了摩擦損耗對支撐面平面度的影響，保證了工件臺的定位精度，降低了工件臺移入移出過程中的控制難度；其次，本工件臺移動裝置采用了移動平臺和固定平臺銜接的工件臺轉移方式，將工件臺的懸浮運動行程大大縮短到固定平臺支撐面到移動平臺支撐面的距離，進一步提高了工件臺移入移出的效率，操作較為方便，實現了大質量、大體積工件臺的長距離運動，降低了工件臺跌落損毀的可能性。

技術領域

本發明涉及光刻機技術領域，特別是涉及一種工件臺移動裝置。

背景技術

光刻機是集成電路制造業的核心設備，而工件臺則是光刻機的核心部件之一。而隨著光刻機的精細化程度越來越高、結構越來越復雜，工件臺的尺寸和重量也在不斷增大，目前工件臺的質量達到數噸之重。當需要將工件臺移出光刻機框架并進行維修或更換零部件時，如何將工件臺快速、安全可靠的移入移出光刻機框架成為了不得不面對的問題。

現有的工件臺移動裝置，大部分通常采用滾輪板簧機構，通過板簧變形驅動滾輪與地面接觸，從而帶動工件臺進行移動，但這種裝置由于存在滾動摩擦，隨著工件臺質量的增大，摩擦也急劇增大，造成不可避免的磨損，同時增大了對工件臺移動過程中的控制難度；小部分工件臺移動裝置采用氣浮機構，但仍然存在移動距離較長、導致工件臺操控不方便且容易跌落損毀的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種控制難度低、操作方便、工件臺懸浮運動距離小、安全性高的工件臺移動裝置。

為了實現上述目的，本發明提供了一種工件臺移動裝置，其包括：

支撐框架；

固定平臺，設于所述支撐框架內；

第一固定機構，設于所述固定平臺的支撐面上，用于定位固定工件臺；

移動平臺，所述移動平臺的支撐面與所述固定平臺的支撐面齊平；

第二固定機構，設于所述移動平臺的支撐面上，用于定位固定所述工件臺；

氣浮機構，設于所述工件臺的底部；

其中，所述移動平臺通過移動可達到第一位置和第二位置，當所述移動平臺處于所述第一位置時，所述移動平臺與所述固定平臺相貼合，當所述移動平臺處于所述第二位置時，所述移動平臺位于所述支撐框架外。

在本申請的一些實施例中，所述氣浮機構包括多個氣浮部，多個所述氣浮部均勻排列于所述工件臺的底部。

在本申請的一些實施例中，還包括磁吸件、第一電磁件和第二電磁件，所述磁吸件設于所述工件臺的底部靠近中間的位置，并位于多個所述氣浮部之間，所述第一電磁件設于所述固定平臺的頂部，所述第二電磁件設于所述移動平臺的頂部，所述第一電磁件和所述第二電磁件沿同一方向延伸，且二者在所述移動平臺處于所述第一位置時相抵接。

在本申請的一些實施例中，所述第一固定機構包括第一固定件、第二固定件以及鎖緊件，所述第一固定件設于所述工件臺沿X方向的一側，所述第二固定件設于所述工件臺沿Y方向的一側，所述鎖緊件設于所述工件臺遠離所述第二固定件的一側。

在本申請的一些實施例中，所述第二固定機構包括第三固定件和第四固定件，所述第三固定件設為兩個且分別設于所述工件臺沿X方向的兩側，所述第四固定件設為兩個且分別設于所述工件臺沿Y方向的兩側。

在本申請的一些實施例中，所述第一固定件、所述第三固定件均可沿X方向滑動，所述第二固定件、所述第四固定件均可沿Y方向滑動，所述鎖緊件可沿預定方向滑動。