[發(fā)明專利]一種工件臺(tái)移動(dòng)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111110517.2
• 申請(qǐng)日: 2021-09-22
• 公開（公告）號(hào): CN113917792A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙鵬越;王繼堯;吳劍威;鄭健;李昌其;趙博;譚久彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;宋亞楠

1.一種工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于，包括：

支撐框架；

固定平臺(tái)，設(shè)于所述支撐框架內(nèi)；

第一固定機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述固定平臺(tái)的支撐面上，用于定位固定工件臺(tái)；

移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)的支撐面與所述固定平臺(tái)的支撐面齊平；

第二固定機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述移動(dòng)平臺(tái)的支撐面上，用于定位固定所述工件臺(tái)；

氣浮機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述工件臺(tái)的底部；

其中，所述移動(dòng)平臺(tái)通過移動(dòng)可達(dá)到第一位置和第二位置，當(dāng)所述移動(dòng)平臺(tái)處于所述第一位置時(shí)，所述移動(dòng)平臺(tái)與所述固定平臺(tái)相貼合，當(dāng)所述移動(dòng)平臺(tái)處于所述第二位置時(shí)，所述移動(dòng)平臺(tái)位于所述支撐框架外。

2.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述氣浮機(jī)構(gòu)包括多個(gè)氣浮部，多個(gè)所述氣浮部均勻排列于所述工件臺(tái)的底部。

3.如權(quán)利要求2所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

還包括磁吸件、第一電磁件和第二電磁件，所述磁吸件設(shè)于所述工件臺(tái)的底部靠近中間的位置，并位于多個(gè)所述氣浮部之間，所述第一電磁件設(shè)于所述固定平臺(tái)的頂部，所述第二電磁件設(shè)于所述移動(dòng)平臺(tái)的頂部，所述第一電磁件和所述第二電磁件沿同一方向延伸，且二者在所述移動(dòng)平臺(tái)處于所述第一位置時(shí)相抵接。

4.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述第一固定機(jī)構(gòu)包括第一固定件、第二固定件以及鎖緊件，所述第一固定件設(shè)于所述工件臺(tái)沿X方向的一側(cè)，所述第二固定件設(shè)于所述工件臺(tái)沿Y方向的一側(cè)，所述鎖緊件設(shè)于所述工件臺(tái)遠(yuǎn)離所述第二固定件的一側(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述第二固定機(jī)構(gòu)包括第三固定件和第四固定件，所述第三固定件設(shè)為兩個(gè)且分別設(shè)于所述工件臺(tái)沿X方向的兩側(cè)，所述第四固定件設(shè)為兩個(gè)且分別設(shè)于所述工件臺(tái)沿Y方向的兩側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述第一固定件、所述第三固定件均可沿X方向滑動(dòng)，所述第二固定件、所述第四固定件均可沿Y方向滑動(dòng)，所述鎖緊件可沿預(yù)定方向滑動(dòng)。

7.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述支撐框架上設(shè)有第一位置傳感器和第二位置傳感器，所述第一位置傳感器朝向X方向設(shè)置，用于測(cè)量所述工件臺(tái)在所述固定平臺(tái)X方向上的位置，所述第二位置傳感器朝向Y方向設(shè)置，用于測(cè)量所述工件臺(tái)在所述固定平臺(tái)Y方向上的位置。

8.如權(quán)利要求7所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述第一位置傳感器設(shè)為兩個(gè)并沿Y軸方向排列設(shè)置，所述第二位置傳感器設(shè)為兩個(gè)并沿X軸方向排列設(shè)置。

9.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)移動(dòng)裝置，其特征在于：

所述移動(dòng)平臺(tái)包括平臺(tái)本體、驅(qū)動(dòng)裝置以及設(shè)于所述平臺(tái)本體底部的滾輪，所述驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)于所述平臺(tái)本體上，用于驅(qū)動(dòng)所述滾輪沿預(yù)定方向滾動(dòng)。