[發明專利]一種高Q值微環諧振器

有效

• 申請號: 202111101147.6
• 申請日: 2021-09-18
• 公開（公告）號: CN113866896B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 劉強;曾德圣;黃慶忠
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 夏倩

1.一種高Q值微環諧振器，其特征在于，包括：多模微環諧振腔，對稱分布的第一單模波導和第二單模波導、第一錐形波導和第二錐形波導、第一歐拉波導和第二歐拉波導；所述第一錐形波導、第二錐形波導、第一歐拉波導和第二歐拉波導為多模波導；

所述第一歐拉波導的曲率沿光路逐漸增大，所述第二歐拉波導的曲率沿光路逐漸減小，所述微環諧振腔的曲率不變；所述第一歐拉波導、第二歐拉波導的截面寬度及兩者連接處的曲率與所述多模微環諧振腔的截面寬度和曲率滿足基模的模式匹配條件；

入射光從第一單模波導入射，依次經由第一錐形波導、第一歐拉波導，在第一歐拉波導與第二歐拉波導的耦合區域，滿足諧振頻率的光耦合進入微環諧振腔，不滿足諧振頻率的光依次經由第二歐拉波導、第二錐形波導，從第二單模波導輸出。

2.如權利要求1所述的高Q值微環諧振器，其特征在于，還包括：多模圓弧波導，所述多模圓弧波導位于所述第一歐拉波導和第二歐拉波導之間，且所述第一歐拉波導和第二歐拉波導關于所述多模圓弧波導對稱；

所述多模圓弧波導與多模微環諧振腔同圓心；所述多模圓弧波導的截面寬度和曲率與所述微環諧振腔波導的截面寬度和曲率滿足基模的模式匹配條件；

入射光從第一單模波導入射，依次經由第一錐形波導、第一歐拉波導進入多模圓弧波導；滿足諧振頻率的光耦合進入微環諧振腔，不滿足諧振頻率的光依次經由第二歐拉波導、第二錐形波導，從第二單模波導輸出。

3.如權利要求2所述的高Q值微環諧振器，其特征在于，所述多模圓弧波導的截面寬度與所述第一歐拉波導、第二歐拉波導的截面寬度相同。

4.如權利要求1所述的高Q值微環諧振器，其特征在于，所述第一單模波導和第二單模波導的截面寬度相同。

5.如權利要求2所述的高Q值微環諧振器，其特征在于，所述多模微環諧振腔、多模圓弧波導、第一單模波導、第一錐形波導、第一歐拉波導、第二歐拉波導、第二錐形波導和第二單模波導均為條形波導，脊形波導，多層波導中的任一種。

6.如權利要求2所述的高Q值微環諧振器，其特征在于，所述多模微環諧振腔、多模圓弧波導、第一單模波導、第一錐形波導、第一歐拉波導、第二歐拉波導、第二錐形波導和第二單模波導均采用絕緣體上硅、鈮酸鋰、氮化硅、磷化銦或砷化鎵中的任一種制成。

7.一種帶通濾波器，其特征在于，所述帶通濾波器采用如權利要求1-6任一項所述的高Q值微環諧振器。

8.一種帶阻濾波器，其特征在于，所述帶阻濾波器采用如權利要求1-6任一項所述的高Q值微環諧振器。