[發明專利]一種硅片拾取裝置

在審

• 申請號: 202111084779.6
• 申請日: 2021-09-16
• 公開（公告）號: CN113977564A
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 沈威
• 申請（專利權）人: 蘇州誠拓智能裝備有限公司
• 主分類號: B25J9/10
• 分類號: B25J9/10;B25J15/06;B25J15/00
• 代理公司: 蘇州佳捷天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 32516
• 代理人: 魏孝廉

本發明涉及一種硅片拾取裝置，主要包括第一絲杠機構，所述第一絲杠機構上安裝有第一驅動架和第二驅動架，所述第一絲杠機構用于驅動第一驅動架和第二驅動架沿X方向相互靠攏或相互遠離，還包括兩個吸盤快插機構，分別為第一吸盤快插機構和第二吸盤快插機構，所述第一驅動架上設置有第一吸盤快插機構，所述第二驅動架上設置有第二吸盤快插機構，本申請的上述裝置使用絲杠機構以及相應的架體來對吸盤進行支撐和移動，使得吸盤移動過程比較平穩。且本申請使用吸盤快插機構，使得吸盤的更換快捷方便。

技術領域

本發明涉及硅片制造領域，特別是涉及硅片拾取裝置。

背景技術

硅片在生產工序中，需要對硅片進行轉移。傳統的用于對硅片進行轉移的裝置為吸盤裝置。該裝置一般包括多個吸盤以及用于固定和移動吸盤的驅動組件。傳統的用于安裝和驅動吸盤移動的組件較為復雜且運行不夠平穩，在移動硅片過程中，硅片有時會發生晃動。

發明內容

基于此，提供一種硅片拾取裝置。該裝置在對硅片進行轉移過程中比較平穩，硅片不會發生不必要的晃動。

一種硅片拾取裝置，包括第一絲杠機構，所述第一絲杠機構上安裝有第一驅動架和第二驅動架，所述第一絲杠機構用于驅動第一驅動架和第二驅動架沿X方向相互靠攏或相互遠離，

還包括兩個吸盤快插機構，分別為第一吸盤快插機構和第二吸盤快插機構，

所述第一驅動架上設置有第一吸盤快插機構，所述第二驅動架上設置有第二吸盤快插機構，

所述吸盤快插機構包括支撐塊、兩個條形的限位塊、密封圈以及多個吸盤，

所述支撐塊上設置有多個貫通的插孔，所述吸盤的一端插入所述插孔中，所述吸盤的兩側分別設置有定位槽，

所述支撐塊的兩側分別設置有條形的收容槽，所述定位槽與所述收容槽連通，所述收容槽內設置有一個限位塊，所述限位塊的一部分插入對應的吸盤的定位槽內，所述限位塊與所述支撐塊可拆卸連接，

所述吸盤插入插孔的一端設置有端部氣孔，所述支撐塊的端面設置有所述密封圈，各個吸盤的端部氣孔都位于所述密封圈的內側。

本申請的上述裝置使用絲杠機構以及相應的架體來對吸盤進行支撐和移動，使得吸盤移動過程比較平穩。且本申請使用吸盤快插機構，使得吸盤的更換快捷方便。

在其中一個實施例中，第一驅動架上設置有第二絲杠機構，所述第一吸盤快插機構設置在支撐架上，所述支撐架與所述第二絲杠機構相連，所述第二絲杠機構用于促使第一吸盤快插機構設沿Y方向移動，所述Y方向與所述X方向垂直。

在其中一個實施例中，所述第二絲杠機構包括第二絲杠組件以及第二導軌組件，所述支撐架分別與第二絲杠組件和第二導軌組件相連。

在其中一個實施例中，所述第一絲杠機構包括第一絲杠組件和第一導軌組件，所述第一驅動架分別與第一絲杠組件和第一導軌組件相連，所述第二驅動架分別與第一絲杠組件和第一導軌組件相連。

在其中一個實施例中，所述吸盤快插機構上的吸盤包括基板以及與基板相連的封板，所述基板與封板之間的空間設置有氣道，所述基板上與封板相對的一面設置有多個吸附孔，所述氣道分別與多個吸附孔以及端部氣孔連通，

第一吸盤快插機構的各個吸盤的封板朝向第一方向，第二吸盤快插機構的各個吸盤的封板朝向第二方向，第一方向與第二方向為相反的兩個方向。

在其中一個實施例中，所述吸盤包括主體部以及兩個向外伸出的分支部，兩個分支部之間形成拼接槽，所述第一吸盤快插機構的吸盤的拼接槽用于收容第二吸盤快插機構的吸盤的其中一個分支部，所述第二吸盤快插機構的吸盤的拼接槽用于收容第一吸盤快插機構的吸盤的其中一個分支部。

在其中一個實施例中，還包括位置傳感器，所述位置傳感器用于檢測第二驅動架的位置。