[發(fā)明專利]特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)和掃描電鏡

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111049008.3
• 申請日: 2021-09-08
• 公開（公告）號: CN113884004A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭超
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，包括：

用于檢測晶圓的封閉的量測腔體；

監(jiān)測裝置，所述監(jiān)測裝置用于實時監(jiān)測所述量測腔體的位置；

氣浮裝置，所述氣浮裝置包括固定氣浮墊和多個調(diào)整氣浮墊，所述固定氣浮墊設(shè)在所述量測腔體的底部以用于承載所述量測腔體，所述調(diào)整氣浮墊設(shè)在所述量測腔體的底部以用于承載所述量測腔體和調(diào)整所述量測腔體的位置，所述調(diào)整氣浮墊的進(jìn)氣口連接有電磁閥以控制調(diào)節(jié)進(jìn)氣量；

控制裝置，所述控制裝置分別與所述監(jiān)測裝置和所述氣浮裝置相連，以根據(jù)所述監(jiān)測裝置的監(jiān)測信息控制所述電磁閥的開關(guān)以調(diào)節(jié)所述調(diào)整氣浮墊的進(jìn)氣量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述固定氣浮墊和多個所述調(diào)整氣浮墊沿所述量測腔體的底壁的周向間隔開設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述固定氣浮墊和多個所述調(diào)整氣浮墊分別對應(yīng)設(shè)在所述量測腔體的底壁的拐角處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整氣浮墊連接有進(jìn)氣管路，所述電磁閥為氣體流量調(diào)節(jié)閥且設(shè)在所述進(jìn)氣管路上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，每個所述調(diào)整氣浮墊的進(jìn)氣口分別連接有進(jìn)氣管和調(diào)整氣管，所述進(jìn)氣管和所述調(diào)整氣管均與氣體源裝置連接，所述電磁閥設(shè)在所述調(diào)整氣管上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置通過控制所述電磁閥的開關(guān)次數(shù)以控制所述調(diào)整氣管的進(jìn)氣量。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置通過控制所述電磁閥的開關(guān)時間來調(diào)節(jié)所述調(diào)整氣管的進(jìn)氣量。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)測裝置包括多個位置傳感器，多個所述位置傳感器分別設(shè)在所述量測腔體的不同位置處，所述控制裝置根據(jù)所述位置傳感器的監(jiān)測信息來控制對應(yīng)的所述調(diào)整氣浮墊的電磁閥的開關(guān)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為CCD圖像傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述量測腔體相連以感應(yīng)所述量測腔體位置移動產(chǎn)生的壓力信號，所述控制裝置根據(jù)所述壓力信號控制所述電磁閥。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為激光干涉儀。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)，其特征在于，還包括氣浮平臺，所述固定氣浮墊和多個所述調(diào)整氣浮墊設(shè)在所述氣浮平臺上。

13.一種特征尺寸測量用掃描電鏡，其特征在于，包括權(quán)利要求1-12中任一項所述的特征尺寸測量用掃描電鏡的氣浮系統(tǒng)。