[發明專利]顯示面板制造裝置在審
| 申請號: | 202110986272.3 | 申請日: | 2021-08-26 |
| 公開(公告)號: | CN114203863A | 公開(公告)日: | 2022-03-18 |
| 發明(設計)人: | 尹晟在;金淵奎;樸商勳;樸智訓;申東雨;崔載沅 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00;H01L27/15 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 李盛泉;全振永 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 面板 制造 裝置 | ||
公開一種顯示面板制造裝置。根據一實施例的顯示面板制造裝置,包括:噴射部,向基礎層噴射包括多個發光元件的溶液;光照射部,向被噴射到所述基礎層的溶液照射光;傳感器部,感測噴射到所述基礎層的溶液的噴射位點;以及控制部,根據所述傳感器部的感測而控制所述溶液的噴射與否。
技術領域
本發明涉及顯示面板制造裝置及其制造方法。
背景技術
隨著對信息顯示的關注的增加以及對欲要利用可便攜的信息介質的需求的提高,對顯示裝置的需求及商業化正在重點發展。
發明內容
本發明的目的在于提供一種在噴墨印刷工序中可以確認是否噴射了溶液的顯示面板制造裝置及其制造方法。
根據本發明的一實施例的顯示面板制造裝置,包括:噴射部,向基礎層噴射包括多個發光元件的溶液;光照射部,向被噴射到所述基礎層的溶液照射光;傳感器部,感測噴射到所述基礎層的溶液的噴射位點;以及控制部,根據所述傳感器部的感測而控制所述溶液的噴射與否。
所述傳感器部可以借由所述發光元件的激發光而感測所述溶液的噴射位點,其中,借由從所述光照射部照射的光而發出所述發光元件的激發光。
所述控制部可以根據所述傳感器部的感測結果而判斷所述溶液的未噴射位點,并以使所述溶液噴射到所述未噴射位點的方式進行控制。
所述光照射部照射的光可以是紫外線。
所述發光元件可以是柱形的發光二極管。
所述發光元件可以包括:第一半導體層和第二半導體層,沿長度方向層疊;以及活性層,位于所述第一半導體層與所述第二半導體層之間。
所述活性層可以發出激發光。
在所述基礎層上可以彼此相隔而布置有第一電極和第二電極,所述噴射部以覆蓋所述第一電極與所述第二電極之間的區域的方式噴射所述溶液。
所述第一電極與所述第二電極之間的區域可以是所述發光元件被對齊排列的區域。
所述第一電極可以是陽極,所述第二電極可以是陰極。
根據一實施例的顯示面板制造方法包括如下步驟:向基礎層噴射包括多個發光元件的溶液;向被噴射所述溶液的所述基礎層照射光;在被照射所述光的所述基礎層中感測所述溶液的噴射位點;以及根據被感測的所述噴射位點判斷所述溶液的未噴射位點,并控制所述溶液的噴射與否。
還可以包括向所述未噴射位點噴射溶液的步驟。
可以向所述未噴射位點噴射溶液,向被噴射所述溶液的所述基礎層再次照射光,在被照射所述光的所述基礎層中再次感測所述溶液的噴射位點,并且根據被感測的所述噴射位點判斷所述未噴射位點,控制所述溶液的噴射與否。
所述噴射位點可以是感測到借由被照射到所述多個發光元件的所述光而從所述發光元件發出的激發光的所述基礎層的一區域。
照射到所述基礎層的光可以是紫外線。
可以在噴射所述溶液之前,在所述基礎層上形成包括至少一個晶體管的像素電路層,在所述像素電路層上形成彼此相隔的兩個第一堤,并且在所述第一堤上形成彼此相隔的第一電極和第二電極。
可以噴射所述溶液以覆蓋所述第一電極與所述第二電極之間的區域。
如果在所述基礎層中沒有感測到所述未噴射位點,則可以施加預先決定的對齊排列電壓而將所述發光元件在所述第一電極與所述第二電極之間對齊排列。
可以在對齊排列的所述發光元件上形成絕緣層,并以與所述發光元件的一端重疊的方式形成第一接觸電極,以與所述發光元件的另一端重疊的方式形成第二接觸電極。
所述發光元件可以是柱形的發光二極管。
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