[發明專利]固定裝置、監測探頭組件以及電子顯微鏡系統

有效

• 申請號: 202110984165.7
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113707520B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 田貴賓
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/244;H01J37/28
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 張欣

本申請提供了一種固定裝置、監測探頭組件以及電子顯微鏡系統。所述固定裝置包括：固定裝置用于對電子顯微鏡的樣品室的監測探頭進行固定，其特征在于，固定裝置包括：連接部，適于與樣品室的外壁連接，且連接部的中部設置有觀察窗，觀察窗與連接部之間通過密封部真空密封；固定部，位于連接部的一側，固定部用于將監測探頭固定在與觀察窗對應的位置，且固定部圍繞監測探頭設置，以阻擋樣品室外的光線通過觀察窗進入樣品室。本申請通過設置連接部以及固定部，可以將監測探頭固定在樣品室外部，并且可以避免外界光線進入樣品室內部，還可以使樣品室具有良好的密閉性。

技術領域

本申請涉及電子顯微鏡領域，具體涉及一種固定裝置、監測探頭組件以及電子顯微鏡系統。

背景技術

電子顯微鏡(Electron Microscope，EM)是一種重要的電子光學儀器，可應用于多個領域。使用電子顯微鏡的過程中，需要通過監測探頭監測樣品室內的情況。將監測探頭設置于樣品室內部存在諸多問題。例如，監測探頭產生的熱量會對樣品的觀察產生干擾，監測探頭會占用樣品室內部的空間，監測探頭會吸附周圍的空氣，導致抽真空效率降低。

發明內容

有鑒于此，本申請提供了一種固定裝置、監測探頭組件以及電子顯微鏡系統。該固定裝置可以將監控探頭固定在樣品室外部。

第一方面，本申請提出了一種固定裝置，所述固定裝置用于對電子顯微鏡的樣品室的監測探頭進行固定，其特征在于，所述固定裝置包括：連接部，適于與所述樣品室的外壁連接，且所述連接部的中部設置有觀察窗，所述觀察窗與所述連接部之間通過密封部真空密封；固定部，位于所述連接部的一側，所述固定部用于將所述監測探頭固定在與所述觀察窗對應的位置，且所述固定部圍繞所述監測探頭設置，以阻擋所述樣品室外的光線通過所述觀察窗進入所述樣品室。

作為一個實施例，所述固定部包括：定位部，所述定位部與所述連接部固定連接，所述定位部用于將所述監測探頭定位在與所述觀察窗對應的位置。

作為一個實施例，所述固定部還包括：夾持部，所述夾持部與所述定位部可拆卸連接，所述夾持部與所述定位部共同作用，夾持固定所述監測探頭。

作為一個實施例，所述固定部還包括：緊固部，位于所述固定部周向，所述緊固部用于將所述監測探頭緊固于所述觀察位置。

作為一個實施例，所述連接部包括：盲板，所述盲板包括觀察窗容納孔，所述觀察窗容納于所述觀察窗容納孔內，所述盲板適于與所述樣品室外壁連接；平板部，所述平板部的兩側分別與所述盲板以及所述固定部連接。

作為一個實施例，所述固定裝置還包括：緩沖部，位于所述觀察窗與所述平板部之間，所述觀察窗通過所述緩沖部與所述平板部緩沖連接。

作為一個實施例，所述觀察窗的材料為有機玻璃。

作為一個實施例，所述固定裝置還包括：外殼，具有容納所述連接部、固定部和所述監測探頭的內腔。

第二方面，本申請提供一種監測探頭組件，所述監測探頭組件包括：第一方面所述的固定裝置，以及監測探頭。

第三方面，本申請提供一種電子顯微鏡系統，所述電子顯微鏡系統包括：樣品室，以及第二方面所述的監測探頭組件；其中，所述監測探頭組件固定于所述樣品室外部。

本申請通過設置連接部以及固定部，可以將監測探頭固定在樣品室外部。并且，本申請通過將固定部圍繞監測探頭設置，可以避免樣品室外部光線進入樣品室內部，進而避免了樣品室外部光線對電子顯微鏡樣品室內的器件產生不良影響。另外，本申請通過設置密封部，將連接部的觀察窗真空密封，使樣品室具有良好的密閉性。

附圖說明

圖1為本申請實施例提供的一種固定裝置。

圖2為本申請實施例提供的另一種固定裝置。

圖3為圖2所示的固定裝置裝配后的主視圖。